中古 INTELVAC Electron beam evaporation system #293809972 を販売中

INTELVAC電子ビーム蒸着装置は、各種材料を基板に精密かつ均一にコーティングするために設計された高性能の薄膜蒸着ツールです。このシステムは、電子ビーム技術を利用して固体材料を蒸発させ、薄膜として基板表面に堆積させます。INTELVACユニットは、薄膜成膜、エッチング、アッシングなどの用途で、半導体、光学、エレクトロニクス業界で広く使用されています。電子ビーム蒸発機の心臓部は電子ビーム源であり、光源材料を含むるつぼに焦点を当てた高エネルギー電子ビームを生成します。電子ビームが源の材料と相互作用すると、それはそれを蒸発させ、基質に向けられる蒸気の束を作り出します。この蒸着プロセスにより、堆積する薄膜の蒸着速度、厚さ、組成を正確に制御することができます。INTELVACツールの主な特徴の1つは、蒸着速度、基板温度、真空圧力などの蒸着プロセスパラメータを正確に制御できる高度な制御アセットです。これにより、ユーザーは、優れたフィルム品質と接着性で、非常に均一で再現性の高い薄膜コーティングを実現することができます。このモデルには、薄膜蒸着プロセスにクリーンで汚染のない環境を提供する高真空チャンバーが装備されています。チャンバーは超高真空レベルに避難し、堆積した薄膜の品質に影響を与える可能性のある不純物の存在を最小限に抑えます。さらに、このチャンバーには、水晶マイクロバランスや膜厚モニターなどの現場監視および制御ツールが装備されており、正確な蒸着制御とリアルタイムプロセスモニタリングを保証します。INTELVAC電子ビーム蒸着装置は、薄膜アプリケーションで一般的に使用される金属、酸化物、窒化物、およびその他の材料を含む沈着材料の幅広い範囲に対応できる汎用性の高いツールです。各種基板サイズ・形状に対応しており、各種基板の加工に柔軟に対応しています。エッチングおよびアッシング用途には、反応性ガス入口システムやプラズマ源などの追加コンポーネントを装備して、プラズマ補助プロセスを可能にすることができます。これにより、基板表面から材料を選択的に除去したり、基板表面特性を変更して特定の機能を達成することができます。全体的に、電子ビーム蒸着機は、幅広い産業における薄膜蒸着、エッチング、アッシング用途のための高性能で信頼性の高いツールです。その高度な機能、精密な制御機能、および汎用性は、優れた再現性と信頼性を備えた高品質の薄膜コーティングを実現しようとする研究者や業界の専門家にとって貴重なツールです。