中古 HITACHI U-712A #9211532 を販売中
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HITACHI U-712Aは、マイクロエレクトロニクス業界の先端技術で世界をリードする日立インスツルメンツのドライエッチング機です。この最先端のエッチングマシンは、高度な表面金属化技術のために特別に設計されており、表面酸化物除去や高アスペクト比パターニングなどの用途に最適なツールです。HITACHI U712Aの強みは、微細な分解能でエッチングし、材料の除去と成膜を正確に制御することです。ケミカルエッチングプロセスを利用して、サブフィーチャー100nmの表面金属化のための信頼性の高い結果を生成します。このエッチングマシンには、ウエハチャックや真空メッキ加工などの高度な機能が搭載されており、正確な結果が得られます。U-712Aエッチャーは、最大直径16インチのウェーハ表面サイズで、大きな加工面積を持っています。ケミカルエッチングプロセスにより、高いエッチング率と優れた歩留まりを実現し、量産に適しています。統合されたプロセス制御システムは、0。1ミクロンの再現性で高精度を可能にします。また、信頼性と一貫した結果を保証するために、ロード、アンロード、およびプロセスのオーバーライドを自動化しています。最先端のケミカルエッチング技術に加えて、U712Aはリモートモニタリングと制御、レーザー安全インターロック、統合されたプロセスモニタリングなど、多くの安全機能も備えています。これにより、オペレータとデバイスの両方にとって最高レベルの安全性が保証されます。また、ツールの自己診断と消耗品の交換が容易なため、日立U-712Aではメンテナンスも簡単で簡単です。HITACHI U712Aは、高度なマイクロエレクトロニクスアプリケーション向けの信頼性と費用対効果の高いエッチングソリューションです。その高度な機能と強力なエッチングレートにより、迅速かつ一貫した結果が得られます。また、安全機能により、最適なオペレータとデバイスの保護が保証されます。高度な処理制御とプロセス監視により、材料の沈着や除去を正確に制御することができます。また、高い歩留まりと信頼性のための再現性のあるプロセスも可能です。
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