中古 HITACHI SPC-500B #9386049 を販売中

HITACHI SPC-500Bは、デリケートな材料を傷つけることなく、堆積物をサンプルから正確にエッチングする真空エッチング・アッシング装置です。このシステムは、エッチングとアッシングチャンバーの組み合わせと真空ポンプを使用して、エッチング工程中の精度と精度を保証します。SPC-500Bは350°Cまでの温度で材料をエッチングすることができ、313 mm x 220 mmの使用可能なサンプルプラットフォームを備えているため、最小限のサンプルサイズで回路基板や部品を効果的にエッチングすることができます。ユニット自体は、強力な10kW ボトムテイクアップRFソース、GHF-8プロセスチャンバー、オートクーラー、コントロールユニット、真空ポンプを備えています。bottomtake-up RFソースは最大2MHzで動作し、1次元または複数の深度フィーチャーをエッチングすることができます。GHF-8プロセス部屋はスパッタを防ぐために壁の内側に並べられたステンレス鋼から組み立てられ、部屋の上そして底にある2つの暖房部屋を含んでいます。これらの暖房室は350°Cまでの等しい、均一な温度を提供することができます。オートクーラーは、最適な結果を得るためにチャンバー温度を望ましいレベルに保つために使用されるため、日立SPC-500Bの重要なコンポーネントです。この機能により、制御された温度範囲内でプロセスを動作させることができるため、エッチングおよびアッシングプロセスの精度が向上します。制御ユニットは機械全体を操作するために使用され、プロセスを正確に監視することができます。これには、エッチング電力、温度、およびプロセス時間を調整する機能が含まれており、ユーザーはエッチング処理を正確に制御できます。最後に、真空ポンプを使用してエッチング工程中にチャンバ内の真空を維持し、低残留、無残留、または混合残留アプリケーションでエッチングを可能にします。全体として、SPC-500Bは信頼性が高く正確で精密な結果を提供する高度なエッチングおよびアッシングツールです。温度制御された真空環境で動作し、繊細な部品を正確にエッチングする必要があるエンジニアに最適なツールです。