中古 HITACHI M206A #9396135 を販売中

HITACHI M206A
ID: 9396135
Poly etcher.
HITACHI M206Aは、研究および実験室の設定の両方に正確なウェーハ処理を提供できるサーマルエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは可搬性と使いやすさを念頭に置いて設計されており、すべてのスキルレベルの人員で使用することができます。M206Aは、すべてのSemadoxウェーハのエッチングやクリーニングなど、幅広い用途に対応できます。信頼性の高い日立M206Aは、常に高品質な結果を時間をかけて提供することができます。M206Aは、高度なタッチパネルディスプレイと8インチのチャンバー設計を備えています。これにより、硫酸やビフルオリドのアンモニウムなどの揮発性の化学物質へのウエハの最適な露出が可能になります。異なった部屋のふたの台紙のサイズはHITACHIのM206Aが最高の多様性を使用することを可能にします。チャンバー蓋マウントサイズは、4インチ(MTF-4)から8インチ(MTF-8)までの範囲です。一方、ディスプレイは、ユニットの簡単なナビゲーションと使用を可能にします。M206Aはまた0-80°Cの温度較差を測定し、維持できる高度の自己調整機能を特色にする高度の温度調整機械を含んでいます。これにより、ウェーハの各バッチのユーザーの安全性と精度が保証され、信頼性と一貫した結果が保証されます。HITACHI M206Aは、温度と時間の両方をカスタマイズするためのさまざまなプロセスパラメータを提供し、最大限の柔軟性を提供します。このツールはオートスタート機能も備えており、手動でアセットのタイミングを調整することなく、ウェーハをチャンバから個別にロードおよびアンロードすることができます。予期しない停電の自動検出機能を備えたM206Aや、過熱保護のための緊急停止装置など、ユーザーの安全性も重要です。これはユーザーの安全を保証するのに役立ちます。結論として、HITACHI M206Aは、ウェハ処理能力を総合的に提供する高度で効率的で信頼性の高いサーマルエッチャー/アッシャーです。ユーザーフレンドリーなパネルディスプレイとプロセスパラメータの配列により、すべてのスキルレベルのユーザーは、すべてのバッチ処理で信頼性の高い一貫した結果を得ることが保証されています。さらに、M206Aは高いレベルの安全性を提供し、自動緊急スタート安全機能が搭載されています。
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