中古 HITACHI M 712E #9008886 を販売中

HITACHI M 712Eは、ウェーハの薄型化や残留物の除去など、エッチングや灰の材料を高精度かつ高速に処理するために設計されたエッチャー/アッシャーです。最大6。5mm2/minの高速精密エッチングが可能で、高度なアダプティブプラズマジェネレータシステムを採用し、必要に応じてエッチングと灰の速度を正確に制御できます。HITACHI M712Eのシャーシは鋼板によって補強される鋼板から成っています、 装置の安定性および耐久性を保障して下さい、内部部品は一組の引出しタイプポンピングシステムおよび0-60秒の灰の時間範囲の100 kV/1250V周波数パルス発電機を含んでいますが。それはまた電磁気浴を含んでいます、 Eme-ARM加工チャック、2つの空気圧シリンダーアセンブリ、および高真空ガスパネル。その他、優れた性能に貢献するM 712Eの特徴とコンポーネントとしては、独立した高性能アンテナ、マルチレベルの自動フロー制御、自動大気回路の変更、独立した2レベル電極アンテナなどがあります。プロセス監視および制御のためのEthernet/RS-485 Interfaceは容易なシステム操作および制御を保障し、フルカラーLCDのタッチスクリーンは容易に理解し、使用することができる直感的な記号および特性を使用し、ユーザーが大きい精密および速度の装置を扱うことを可能にします。M712Eで使用される真空リファレンステクノロジーにより、オペラ・トアがプロセス速度、温度、ガスの流れ、圧力、およびその他のパラメータを正確に監視できるようになります。HITACHI M 712Eのユーザーインターフェースは、加工効率を最大限に高めるように設計されており、バッチ、パネル、ウェハサイズ、エッチングレートなどの機械および材料固有の設定を構成することができます。また、ウェーハ状態、プロセス結果、詳細な動作記録をリアルタイムで表示するためのデータ機能も備えています。このマシンは、オンラインとオフラインの両方の操作を提供し、マルチステップ処理が可能であり、複数のプログラムモードが異なる処理要件に対応しています。HITACHI M712Eは使いやすく、設置も簡単で、稼働中も最高レベルの安全性を維持するように設計されています。また、さまざまな世界的な安全基準に準拠しており、CEマーキングおよびULやRoHSなどのその他の認証を取得しています。