中古 HITACHI M 712E ECR #9172571 を販売中
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ID: 9172571
ウェーハサイズ: 8"
Plasma etcher, 8"
Wafer loading module:
(3) Cassette load ports
Four-axes robot
Wafer centering unit: Notch alignment and centering
Fan filter unit
Buffer / Loadlock chamber:
Two-axes robot
Buffer turbo molecular pump
Man / Machine interface:
PC with Magnetic / Optical drive
LCD Display
Keyboard / Pointer
(2) ECR etch chambers
(2) Gas boxes
One per chamber: Ar, Cl2, SF6, HBr, CF4, CHF3, O2, spare
(2) Capacitance manometers
Penning gauge
Microwave power monitor / Auto tuner
Chamber temperature control module
Etch turbo molecular pump
Etch coil magnet: 3-Coil type
Coil cooling water flow sensors
Dual input endpoint detection system
Backside Helium cooling
(2) Power supply units - One per chamber
(2) EC Temperature controllers - One per chamber
Facility interface box
Transformer box
FFB Unit.
HITACHI M 712E ECRは、幅広い用途向けに設計されたプレミアム電気化学エッチング/アッシュニング(ECR)機です。このデバイスはコンパクトで操作が簡単で、さまざまな材料を素早く正確にエッチング/灰することができるため、高品質の結果を提供します。このマシンは、スピンドル軸、フィード軸、およびY軸を含む独自の多軸システムを使用しています。X、 Y、 Z軸はサーボモータによって駆動され、スピンドルは自律的に動作します。この機械は、プラスチックや金属から石、セラミック、ガラスまで、さまざまな材料でエッチング/アッシングすることができます。M 712E ECRは信頼性の高い精度とスピードを提供します。このデバイスには最大5つのジョブ用のオンボードメモリが付属しているため、簡単なジョブのリコールと高速な繰り返しが可能です。高出力のDC電流と組み合わせることで、エッチング/アッシュの困難なアプリケーションを処理することができます。プロフェッショナルレベルの精度を容易に達成できる高抵抗性の石英材料と、運転エリア周辺のほこりや破片を低減するためのダストカバーを備えています。HITACHI M 712E ECRは非常に使いやすいです。7インチのタッチスクリーンディスプレイを備えた直感的なユーザーフレンドリーなインターフェイスを使用しており、操作パラメータを簡単に調整できます。このマシンは自動プリセット機能も備えており、オペレータの介入を最小限に抑えて最適な結果を保証します。また、オペレータにリアルタイムのフィードバックを提供し、結果の品質を迅速に確認できるようにします。M 712E ECRは費用対効果の高い機械で、経済的なコストがかかります。3年間の限定保証が付属しているため、問題が迅速かつ効果的に処理され、ユーザーは最小限のダウンタイムで機械を操作することができます。HITACHI M 712E ECRは、エッチング/アッシュ用途に最適な機械です。その多軸システムと高出力DC電流は、迅速かつ正確な作業を可能にし、直感的なユーザーインターフェイスとリアルタイムフィードバックにより、オペレータは簡単なジョブのリコールと結果の確認を提供します。このデバイスの費用対効果の高い運用コストと3年間の保証により、スマートな投資が可能になり、最適な結果が保証されます。
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