中古 HITACHI M 712 #9314719 を販売中

HITACHI M 712は、フォトリソグラフィ、メタライゼーション、半導体加工用途に最適なエッチャー/アッシャーです。このツールは、高精度の自動ウェーハアライメント、超高速スループット、幅広い成膜/エッチング機能など、最先端の経済的およびパフォーマンス機能を備えています。微細加工システムは、最大8インチのウェーハサイズで設計されており、高い生産性と機能精度の向上を可能にします。エッチャー/アッシャーは、フリーイオン反応イオンエッチングとケミカルアシストエッチングを組み合わせた2段メカニズムを採用し、電気アークの影響を受けずに優れたエッチング品質を実現しています。このデュアルプラズマは、基板の損傷が少なく、均一なエッチングがより効果的なタイトジオメトリのエッチングを保証します。エッチャー/アッシャーは、特許取得済みのスプリットシャワープレート、Jファイリング、および真空統合を使用して、超高エッチング速度とスループットを実現します。スプリットシャワープレートは、マスクのずれを最小限に抑え、優れた厚さ制御を提供します。Jファイリング技術により、エッチングの開発時間を最小限に抑え、エッチングをエッジから行うことができます。真空集積はチャンバーを密閉し、外部からの汚染を低減します。システムには、レシピの簡単なプログラミングと監視を可能にするWindowsベースのグラフィカルユーザーインターフェイスが付属しています。イオン発生フィードバックやガスフロー状態などの統合制御機能は、高いスループットで正確なプロセス制御を提供します。さらに、このツールには、システムパフォーマンスを継続的に監視し、データロギングオプションを提供する高度な診断プログラムが付属しています。さらに、M 712は、イオン密度モニタ、温度センサ、圧力計、パススルー・システムなど、さまざまな安全機能を内蔵しています。圧力センサーはチャンバー内の圧力変化を報告し、異常状態を検出するために使用できますが、内蔵の安全機能は異常な状況が発生した場合に警告信号を提供します。これにより、安全で効率的なプロセスが保証されます。HITACHI M 712は、多種多様なフォトリソグラフィ、メタライゼーション、半導体加工アプリケーションに最適なエッチャー/アッシャーです。その優れた性能と安全機能は、品質と効率を重視するユーザーに最適です。