中古 HITACHI M 612A #9266136 を販売中

HITACHI M 612Aは、さまざまな加工要件に対応する強力で正確で信頼性の高いソリューションを提供する汎用性の高いエッチングおよびアッシャー装置です。M 612Aはハイスループット機能を備えており、最高速度は40万個/時間です。その効率的な処理能力は、パルスエッチングやパルスアッシャーなど、さまざまなプロセスモードによって促進されます。このシステムには2つの処理ヘッドがあり、それぞれに2インチの作業エリアがあり、高解像度の処理が可能です。このユニットは2つの異なる処理モードを備えており、非金属を含む多種多様な材料の処理を可能にします。エッチングには、高周波トランスを使用してワーキングゾーンに不安定なプラズマを作成する誘導結合スパッタリングツールを備えています。このプラズマにより、対象物質は小さな物理的変位を受け、分子結合を破り、粒子を駆動させることができます。このパルスアッシャープロセスは、誘導結合プラズマ源と高圧パルス発生器を利用して高温プラズマを生成します。このプラズマは3500°Cまで温度に達することができ、ポリイミド、ポリアミド、ポリカーボネート材料の急速かつ効率的なアッシングを可能にします。HITACHI M 612Aは、シリコンウェーハ、セラミック基板、石英など、さまざまな基板を加工することができます。また、プロセスパラメータを監視し、スパッタリング速度、工程数、工程時間などの設定を調整することができます。M 612Aは安全のために設計されており、処理中に危険なガスが排出されることはなく、フィルターをかけた排気資産を使用して残留粒子を吹き飛ばします。このモデルには熱暖房装置も内蔵されており、オペレーターの安全を確保するのに役立ちます。HITACHI M 612Aは、高信頼性・高効率なエッチング・アッシング・システムで、幅広い基材に適しています。その幅広いプロセスモードと精密な制御機能により、マイクロエレクトロニクスコンポーネントの開発に必要な高解像度機能の作成に最適です。