中古 HITACHI M 511E #293761788 を販売中

HITACHI M 511Eエッチングマシンは、幅広いエッチングおよびアッシング用途に対応できるパワフルで汎用性の高い機械です。操作が簡単なタッチボタンを備えた直感的で使いやすいコントロールパネルと、すべてのパラメータを簡単に表示できる明るい液晶ディスプレイを備えています。このマシンには、さまざまなエッチングのニーズに対応するために正確に調整できる高出力の可変周波数RFソースが装備されています。このシステムは、幅広いプロセスパラメータで優れたエッチング性能を提供します。これにより、薄膜構造から大型3D構造までの用途に最適です。HITACHI M 511Eashersは、高深度での高精度エッチングが可能で、高い制御性を備えています。このマシンには、平面エッチング、立体エッチング、オートフォーカスなど、多くの標準的なエッチングオプションが付属しています。付属のオートフォーカスオプションを使用すると、平らな基板表面と曲面の両方でシャープな結果を得ることができます。このマシンはまた、サイクル中にエッチングパラメータを変更する必要がない強力な高周波スイープを備えています。これにより、各エッチングサイクルで一貫した結果が得られます。エッチング工程での垂直方向と水平方向の正確なアライメントを可能にする高精度の傾きと回転ステージを備えています。これにより、基板が正確に配置され、エッチングが最適に適用されることが保証されます。さらに、このマシンには、事前にプログラムされたレシピのライブラリを保存し、ユーザーが特定のプロセスレシピを簡単に選択できる高度でインテリジェントなレシピプログラミングシステムも装備されています。特定のエッチングプロトコルへの迅速かつ簡単なアクセスのためのThisallows。また、M 511Eにはディープエッチング機能が搭載されており、基板上で極めて微細なディテールを実現します。これにより、エッチングパターンの解像度と均一性が向上し、複雑な構造上の複雑なパターンを処理することができます。また、高精度で長寿命な光学ズームシステムを搭載し、エッチング処理を基板全体に一貫して施すことができます。HITACHI M 511Eは、安全性と精度を確保するため、酸漏れ防止、緊急停止、故障検知機能など、数多くの安全機能を備えています。さらに、このマシンには、帯電防止制御や過熱保護などの標準的な安全機能が含まれています。このエッチャー/アッシャーは、SEMI規格でも承認されており、製品の厳しい電気および機械規制への準拠を保証します。M 511Eはパワフルで汎用性の高いエッチャー/アッシャーマシンで、幅広いエッチングおよびアッシング用途に最適です。