中古 HITACHI M 511A #9142666 を販売中

HITACHI M 511A
ID: 9142666
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Poly etcher, 8" 1996 vintage.
HITACHI M-511Aは、精密ナノおよび微細加工用途向けに設計されたケミカルエッチングシステムです。深さ0。5までのエッチングで55x44mmまでの様々な形状やパターンを作成することができます。このデバイスは2つの主要コンポーネントで構成されています。主制御エレクトロニクスを構成する統合ユニットと、4つの電気メッキ半永久的な青銅エッチングチャンバーとアップシャドウ鋼バッキングテーブルを備えた交換可能なカルーセルです。この制御ユニットを使用すると、ユーザーは、電流、速度、ランプなどのすべてのパラメータを手動で調整することができます。また、ジョブ固有の情報を表示するための2つのラインLCDディスプレイと2桁のLEDディスプレイシステムを提供することもできます。M-511Aの中心は、硫酸や塩化鉄などの化学溶液で動作する4つのエッチングチャンバーです。エッチングする材料に応じて、他のいくつかの酸や化学物質を使用することができます。エッチングチャンバーには、エッチングソリューションや金属、セラミックス、プラスチックなどのさまざまなオブジェクトを、問題の材料に応じてロードすることができます。エッチングの深さは、0。5〜3ミクロンのどこにでも設定できます。また、日立M-511Aでは、エッチング液を最適な圧力で保つための圧力除去システムを導入しており、エッチング品質の安定化を図っています。また、M-511Aには複数の材料を一度にエッチングする機能があり、回転時間はわずか40分で、より高い出力を必要とする企業に大きな生産性を提供します。また、複数のエッチングレシピを保存するための内蔵メモリも備えており、同じ材料の有無にかかわらず、繰り返しエッチング処理を容易にします。スチールバッキングテーブルも取り外し可能で、薄いオブジェクトの裏面エッチングにアクセスできます。HITACHI M-511Aは、基板の生地、製品、部品のカスタマイズに最適です。また、ナノ構造や微細構造などの物体解析や実験用の薄膜パターンの作成にも最適です。効率的な操作と信頼性を確保するために、M-511Aにはエッチング工程で発生する有害な化学発煙および蒸気を捕捉および排出する排気管が付属しています。また、オプションのエアコンセンサーユニットを購入することで、溶媒蒸気の凝縮をなくすことでデバイスの効率を向上させることができます。HITACHI M-511Aは、エッチング精度、高いスループット、柔軟性、一貫したエッチング品質など、最高の機能を備えています。
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