中古 HITACHI M 511 #9356465 を販売中

HITACHI M 511
ID: 9356465
ウェーハサイズ: 8"
Plasma etching system, 8".
HITACHI M 511エッチャー/アッシャーは、完全に自動化された最先端のエッチング/アッシング装置です。直感的で使いやすいメニューを備えたタッチスクリーンインターフェイスを備えており、初心者や専門家にも最適です。HITACHIではM-511ディスプレイを数回タップするだけで、エッチングとアッシングの時間、温度、圧力を正確に制御できます。このシステムは、所望の圧力と温度変化の自動校正も提供します。単位はあなたの好みのエッチングまたは灰の深さに一致させるために調節可能な単一の1メートルのスパッタ源を利用します。この機械にはデュアル10角の電極が装備されており、効率的な電気化学処理のための高い電力密度を提供します。これらの電極を連結することで、さらに高い処理速度を得ることができます。電極の新しい設計はまた、正確な熱制御と熱均一性を保証します。さらに、M 511は500ワットまでの調整可能な入力電力を可能にし、高速なエッチングと最大歩留まりを実現します。また、監視が容易な観察窓、圧力調整用の電源制御スイッチ、高インパルスから資産を保護するための過圧安全スイッチ、緊急停止ボタンなどの安全機能も備えています。最適な安全のために、M-511にまた二重安全モデルがあります。二重安全装置は2つのレベルのセキュリティを使用して、すべてのパラメータが事前設定された安全限界内にあることを保証します。HITACHI M 511には、エッチングおよびアッシングプロセスの現在のパラメータを検出する自動サンプリング装置が搭載されています。このデバイスは、これらのパラメータを迅速かつ正確に調整し、時間を節約して歩留まりを向上させることができます。HITACHI M-511には、一般的なエッチングや灰プロセスのためのインテリジェントプリセットプログラム、現在のプロセスのリアルタイム監視、最適なパラメータを維持するための自動調整アルゴリズムなど、さまざまな機能があります。システムには、ユーザー情報と設定を保存するメモリユニットもあります。その上で、日立はM 511の1年間の保証を提供しています。これは予算のそれらのためにそれを大きい作り、この一流のエッチングおよびashing機械を買うとき心の安らぎを与えます。
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