中古 HITACHI M 511 #9257744 を販売中

HITACHI M 511は、HITACHI製品ファミリーの一部であるエッチャー/アッシャーです。薄い基板のエッチングやアッシング用に設計されています。HITACHI M-511は、ハイスループット処理を実現するために、エッチングおよびアッシングチャネルを独立して、または同時に動作させることができる4つのマルチチャネル機器です。0。01 Torrまでの低出力が可能な真空設計で、薄膜材料のエッチング/アッシングに最適な動作を可能にします。M 511には、ウェーハごとに均一性と安定した電流の流れを確保するためのコンポーネントのレベリングとレーン・トリミング機能が装備されています。さらに、基板エッチング/アッシュレートのわずかなドリフトを自動的に補償する膜厚モニタリングユニットを備えています。統合された安全機械は、加工中に繊細な材料が損傷しないように基板の過剰エッチングまたは過剰アッシングを防止します。M-511は、安全で効率的な処理環境を確保するのに役立つ統合窒素フローコントローラを備えています。HITACHI M 511は、堅牢な設計により、1時間あたり最大150個のウェーハを処理でき、精密なエッチングとアッシングの要件を達成するための汎用性の高いツールです。