中古 HITACHI M 511 #293829872 を販売中

HITACHI M 511は、各種基板の化学エッチングや物理エッチングに使用される低消費電力、中性能エッチャー/アッシャーです。エレクトロニクス、半導体、太陽光発電産業の幅広い用途に適しています。装置は研究および生産の設定の両方で広く利用されています。システムの主な構成要素は、低電圧電場が強力な磁石によって生成される静電エッチングチャンバーです。エッチングは、基板上のイオンのエネルギッシュな衝撃のプロセスを介して行われ、その後、表面に望ましいパターンを作成するために使用されます。チャンバー内部の真空は、イオンの移動性を高めることによってエッチング処理を最適化します。HITACHI M-511の高度な制御ユニットは、作動圧力、流量、エッチング速度などのさまざまなパラメータを正確にエッチング制御します。これにより、薄膜の均一なエッチングが可能となり、非常に高い解像度を実現します。このチャンバーはステンレス製のプラテンを備えており、基板の望ましくない側壁エッチングを低減します。このマシンには、エッチングプロセスの自動制御を提供するソフトウェアも含まれています。これは、最適なエッチングプロファイル、パルス周波数やパルス持続時間などの制御可能なパラメータ、およびユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを提供する強力なアルゴリズムを備えています。また、このソフトウェアを使用すると、最大10種類のエッチングレシピをメモリに保存できます。さらに、このツールには、化学エッチング用のガス供給資産も取り付けられています。これにより、酸素、塩素、六フッ化硫黄（SF6）などの異なるエッチングガスを安全かつ正確に供給することができます。ガス供給モデルのオリフィスは、ガス流量を制御するために調整可能です。M 511は信頼性が高く汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。ユーザーの安全性を考慮して設計されており、高度な制御装置は、エレクトロニクス、半導体、および太陽電池産業の幅広い用途に最適です。