中古 HITACHI M 511 #293656260 を販売中

HITACHI M 511エッチャー/アッシャーは、さまざまな用途において高精度で再現性のある結果を提供する汎用性と堅牢性を備えた機械です。エッチャー/アッシャーは、実験室および生産環境で精密エッチングおよびアッシングプロセスを実行するように設計されています。ガラス、プラスチック、セラミックス、金属、複合材料のエッチングに適しています。エッチャー/アッシャーは、単層または複数層の除去、テキストエッチング、パターンエッチング、薄膜アッシングに使用できます。HITACHI M-511は、信頼性と柔軟性に優れた最先端のウェーハ処理装置を備えています。多言語LCDコントロールパネル、高度な安全機能と自動温度制御を備えたマルチチャンバープレートを備えています。高度な安全システムには、緊急停止と緊急入力制御が含まれています。このユニットは、オペレータとエッチャー/アッシャーの両方を危険な操作から保護するように設計されています。エッチャー/アッシャーには、操作の間を手動で掃除する必要を排除する独自のセルフクリーニングマシンも含まれています。M 511は、最大ステージムーブメントが300 x 300 mmの3軸オートステージを備えています。エッチング/アッシング機能は8インチウェーハで評価されていますが、オプションの延長電源で最大12インチウェーハをエッチングできます。このマシンは、マルチステッププロセスのエッチング速度を最適化することにより、プロセス品質と再現性の均一性を提供します。エッチング速度は最大5-10 nm/min、エッチング解像度は最大1 μ mです。また、溶剤回収機能と廃棄物回収用トレイも備えています。M-511はまた、カスタマイズと汎用性のためのアクセサリーの広い範囲を誇っています。ガスエッチング用ガスモジュール、高解像度薄膜エッチング用サンプルプレート、高速処理用パルスレーザーモジュールなどがあります。また、より要求の厳しいアプリケーションのための高真空ポート、および室温処理オプションが含まれています。HITACHI M 511は、信頼性と費用対効果の高いエッチング/アッシングツールを必要とするラボや生産設備に最適なソリューションです。精度と再現性に優れ、高精度なエッチング操作に最適です。このマシンはユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えており、さまざまな高度な安全機能を備えています。その付属品の選択はこの機械を非常にカスタマイズ可能および範囲の適用のために適したようにします。