中古 HITACHI M 501AWE #9133882 を販売中
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ID: 9133882
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Plasma etching system, 8"
System configuration:
2-Metal etching
1-Ashing CH
Etching CH gases: O2, CH4/Ar, CL2, BCl3, Ar, CH2F2, H2
Ashing CH gases: O2, CH3OH
Gas Jungle Information :
Cl2: STEC7440, 200SCCM
BCl3: STEC7440, 200SCCM
N2: STEC7440, 50SCCM
SF6: STEC7440, 50SCCM
O2: STEC7440, 200SCCM
Ar: STEC7440, 300SCCM
CHF3: STEC7440, 100SCCM
CH4: STEC7440, 200SCCM
HW unit :
PC Rack
Transfer box
Main body
Power supply unit
Temp control unit
Chiller
1997 vintage.
日立M 501AWEは、高温・高圧用途向けに設計された工業用エッチャーおよびアッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、4段階のエッチングプロセスを使用して、アルミニウムやステンレスなどのほとんどの金属に精密で耐久性のある仕上がりを作り出します。その結果、非常に詳細で長持ちする製品になりました。M 501AWEは最高級の部品および溶接されたステンレス鋼フレームを使用して組み立てられます。その堅牢な構造は、高温および高圧に耐えるのに役立ち、そのよく設計された安全機能は、さまざまな設定で安全に操作できることを保証します。エッチャー/アッシャーはまた、精密で費用対効果の高い操作のための可変制御の広い範囲を備えています。HITACHI M 501AWEは、研磨ブラストから始まる4段階のエッチング工程を利用して、ワークの表面を荒らします。その後、酸エッチングを使用して不要な材料をエッチングします。第三のステップは、材料がエッチングまたはアッシャーで終了する前に接着を促進するための化学結合剤です。エッチャー/アッシャーには、便利なオンボードエアコンプレッサーが装備されており、アルミニウムやステンレスなどのほとんどの金属をエッチングすることができます。空気圧縮機は速く、一貫したエッチングおよび圧力を可能にします。このユニットにはデジタルタイマーも含まれており、ユーザーはエッチングまたはアッシング処理の時間を設定できます。もちろん、M 501AWEには幅広いアクセサリーも付属しています。機械を保護する保護シールドやスパッタリングシールド、エッチングガンノズルなどがあります。これらの付属品を使うと、エッチャー/asherはプラスチック、陶磁器およびガラス部品である場合もあります。HITACHI M 501AWEには、安全インターロックスイッチ、熱過負荷保護、空気圧縮機の帯電防止カバーなどの安全機能が追加されています。また、エッチングプロセスの精度と一貫性を確保するための調整可能な温度制御も含まれています。M 501AWEは、精度と信頼性の高いエッチングとアッシングプロセスの両方を実行することができる汎用性と信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。堅牢な構造、幅広い可変制御、包括的な安全機能により、高温および/または高圧アプリケーションでの使用に最適です。
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