中古 HITACHI M 501AW #9142682 を販売中

HITACHI M-501AWは、半導体ウェーハの精密エッチングおよびアッシング用に設計されたエッチャー/アッシャーです。高速でのエッチングが可能で、再現性に優れた高耐久性を備えています。M-501AWは、ウェーハの品質を保証するために最先端の技術を利用しており、HFおよびプラズマベースのエッチング技術の両方で使用できます。HITACHI M-501AWは、複数のプロセスインレットとコンセント、高密度処理能力、柔軟な制御システム、最適なガス制御を備えています。M-501AWは平らでまたは大きい開いた3Dプロセスステーションでエッチングすることができます。エッチングされたパターンの位置精度と再現性を保証するトラックロック位置を備えたウェーハの高精度な自動ローディングとアンロードを特徴としています。HITACHI M-501AWのガス制御技術は、ガスの流量を最小限に抑え、さまざまなプロセスガスを正確に動的に制御します。各エッチング工程で複数のガスを制御することM-501AWでき、より正確なエッチング工程を可能にします。HITACHI M-501AWは、信頼性と効果的なアッシャーとして設計されています。その最先端の技術は、高いスループット、低い汚染、優れた均一性を保証します。また、ステーションのリスクを最小限に抑え、エッチング中の超低粒子レベルを保証する高度な真空システムを備えています。M-501AWのプラズマエッチングプリクリーンステップは、ダストレベルを低減し、プロセスの再現性を向上させるのにも役立ちます。HITACHI M-501AWも超高精度アッシャーです。自動化されたアッシングプロセスにより、エッチングの深さが毎回正確かつ反復可能になります。ディープエッチング、ラインのバックエンド（BEOL）処理、アスペクト比の高いパターニングなど、さまざまな用途に使用できます。M-501AWはまた低消費電力とガス消費量を削減し、安全性を向上させる高度なガス管理システムと環境に優しいように設計されています。HITACHI M-501AWは、あらゆる用途において精密かつ再現性のあるプロセスを実現するために設計された高度なエッチングおよびアッシャーマシンです。自動化、精度、効率性を備えているため、あらゆるタイプの半導体ウェーハエッチングおよびアッシングのニーズに最適なソリューションです。