中古 HITACHI M 318SX #136433 を販売中

HITACHI M 318SXは、様々なLE（リソグラフィーエッチング）プロセスを正確かつ効率的に実行するために開発された半導体エッチャー/アッシャー装置です。確立された半導体アプリケーション向けに設計されたM 318SXは、高精度のエレクトロメカニカル設計により可能となった超薄型多層装置を製造することが可能なフル機能のテンプレートエッチャー/アッシャーです。HITACHI M 318SXは、高精度構造を正確かつ効率的にパターン化するために、MPS （Multiple Patterning Equipment）を採用し、高品質なポリマーフィルムを実現しています。M 318SXは、ラインとスペースの特徴を0。25ミクロンに縮小することができる統合プロセスソリューション（IPS）を備えており、シングル、ダブル、トリプルパターニングなどの幅広い機能を提供します。HITACHI M 318SXは、バックサイドエッチング、オーバーコートエッチング、選択的エッチング異方性エッチング（SEAE）など、高イオンエッチング電流プラズマエッチングおよびアッシング処理を行い、高アスペクト比のチャネルとトレンチを形成することができます。M 318SXには高度な高解像度3Dイメージングシステムがあり、高解像度のFIB/SEMと組み合わせて非常に正確なエッチングを実現しています。HITACHI M 318SXは、エッチングする素材や特徴に応じて、電気化学的エッチングとウェットエッチングの両方を行うことができます。M 318SXはシングルステッププロセスとマルチステッププロセスの両方に優れており、自動化されたプロセス制御システムと容易に統合できます。また、HITACHI M 318SXには大型タッチスクリーンディスプレイも搭載しており、インターフェースをカスタマイズして最大限の効率と利便性を実現しています。M 318SXは、さまざまなLEプロセスの精密エッチングおよびアッシャー構造を製造するための非常に汎用性の高い高効率なユニットです。HITACHI Mは、高解像度イメージングとFIB/SEMを組み合わせたパワフルなMPS/IPS機能を活用し、極めて微細な機能分解能を備えた超薄型マルチレイヤーデバイスを製造することが可能な318SXです。M 318SXは、優れた性能と比類のないプロセス制御を提供するマシンを探している経験豊富な半導体ユーザーにとって理想的なソリューションです。