中古 HITACHI M 318 #9144927 を販売中

HITACHI M 318は多目的エッチング/アッシャー装置で、様々な用途に対応しています。この信頼性の高いシステムは、運用コストの削減と信頼性の向上につながる最小限の汎用性の高い運用とメンテナンス要件を必要とします。M 318に250W x 200D x 200H mmのプロセス部屋のサイズおよび1000°Cの最高の源の温度があります。このユニットは、広い面積の均一性と再現性を念頭に置いて設計されています。電動チャック、エアベアリングテーブル、真空機、電子制御基板温度センサーを備えた自動プログラマブルウェハ操作ユニットを備えています。ウェーハの操作は、調節可能な広範囲の水晶水平トレイと統合されたエンドエフェクターを備えた電子駆動カンチレバーアームによって容易になります。このツールにはコンピュータ制御の発電機と気化モジュールが組み込まれており、堆積速度、温度、堆積物の量を精密に制御できます。これにより、基板上の単純層または複数層の均一な堆積が容易になります。コンピュータコントロールはまた、陽極酸化およびエッチングパラメータの容易な最適化と調整を提供します。HITACHI M 318には、タッチスクリーンを介して操作できるカスタムモニターが付属しており、すべてのパラメータを視覚的に監視できます。また、高度なウェーハ温度制御とさまざまなプログラミングオプションを備えています。その中には、ウェーハあたりの温度プロファイルを測定および分析する機能が含まれています。M 318には、プロセスの簡単なセットアップを容易にするための自動レシピジェネレータを含む高度なソフトウェアが付属しています。これにより、エッチングまたはアッシングプロセスの速度と精度を向上させると同時に、再現可能なプロセス操作を可能にします。さらに信頼性を高めるために、この資産には内蔵の診断モデルとインターネット接続が含まれており、定期的なリモート監視とトラブルシューティングを保証します。安全のために、HITACHI M 318は、排気装置を内蔵し、包括的な緊急遮断ボタンを備えています。また、ガスバルブ、真空システム、エアフィルターなどのさまざまな安全装置が付属しています。システムの堅牢性を確保するために、最適な性能を確保するために定期的なメンテナンスを行う必要があります。M 318は、セラミックス、誘電体、ポリマー、金属のエッチング、ウェーハのアッシングまたはクリスタルスライシングなど、幅広い用途に最適な、信頼性の高い汎用性の高いエッチング/アッシングユニットです。HITACHI M 318は、あらゆる薄膜蒸着プロセスに対応し、研究室や製造業務に適しています。