中古 HITACHI M 308NFXW #9103889 を販売中
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ID: 9103889
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1993
Aluminum etcher, 8"
Gas: BCl3, CL2, CHF3, O2, N2, He
1993 vintage.
HITACHI M 308NFXWエッチャー/アッシャーは、さまざまなエッチングおよびアッシング用途で精度と制御を提供する高性能マシンです。この機械は、プラズマエッチング、反応イオンエッチング、および誘導結合プラズマエッチングなど、さまざまな動作を行うように設計されています。このユニットには、エッチングおよびアッシング用途の最適な制御を提供する自動調整された2段階のガス供給システムが搭載されています。M 308NFXWは、高品質のエッチング/アッシング結果を達成するために、クリーンで均一で信頼性の高い放電を提供する円形プラズマ発生器を誇っています。このシステムは、エッチング/アッシング材料が低温で処理できるようにすると同時に、安定したエッチング/アッシング結果を得るために高い精度と信頼性を提供します。さらに、このユニットには、基板の損傷や汚染のリスクを低減するための高密度絶縁材を含む制御環境チャンバーが含まれています。HITACHI M 308NFXWは、要求に応じて調整できる大型の圧力真空システムを備えており、均一な作業環境を確保し、最適なエッチングとアッシング結果を提供するのに役立ちます。M 308NFXWは、プロセスのエッチングおよびアッシングパラメータを制御する際に優れた精度を提供します。これには、制御可能な圧力および基板の温度、およびエッチング/アッシングガスフロー、およびエッチング/アッシング結果に最適な分解能が含まれます。HITACHI M 308NFXWには、様々なパラメータの操作や調整が簡単に行える、使いやすいコントロールパネルも用意されています。全体として、M 308NFXW Etcher/Asherは、さまざまなエッチングおよびアッシング用途に最適な機械です。一貫した精度で信頼性の高い均一な結果を提供することができるため、優れたエッチング/アッシング結果を生成する際の品質を保証します。HITACHI M 308NFXWは、幅広い用途に最適なエッチャー/アッシャーです。
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