中古 HITACHI M 308ATE #9410977 を販売中

HITACHI M 308ATEは、半導体製造用に設計されたエッチャー/アッシャーです。高品質なデバイスを高精度に生産する完全自動化システムです。高精度ステッピングモータ、パワフルなレーザー、固体酸化物エッチングを組み合わせて使用しています。このユニットは、信頼性が高く、高速で、反復可能なエッチングとプラズマアッシング用に設計されています。高速でリニアモータ駆動のX-Yステージは、最大直径48。5mmの部品の迅速な位置決めと精度を提供します。また、1つの平面で移動してステージにロードできる自動アームも備えています。このシステムは、デバイスの微細構造や回路の損傷や歪みなしに、厚いシリコン基板をエッチング/アッシングすることができます。M 308ATEは、ウエットエッチングとプラズマエッチングの組み合わせを利用した4レベルのエッチングプロセスを利用しています。このレーザーは、回路レイアウトにホログラム状のパターンを作成することができ、デバイスを形成するための非常に高速なメカニズムを提供します。さらに、システムは4レベルの非同期プロセスを使用して、正しいタイミングで次のステップサイクルをトリガーします。ユーザーフレンドリーな操作により、バッチ生産から研究開発まで、幅広い用途に最適です。各ステップに複数のパラメータ設定とユーザー設定可能な機能を備えており、多目的で正確な操作を可能にします。さらに、高い安全性と信頼性を備えており、自動監視や制御などの安全機能が内蔵されています。日立M 308ATEは、高解像度、高精度、高速生産を可能にする革新的で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。半導体製造のための包括的なソリューションを提供し、完成品の生産性と品質を向上させる信頼性の高い効率的なプラットフォームを提供します。