中古 HITACHI M 308ATE #293799553 を販売中
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ID: 293799553
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
Etcher, 8"
Missing parts:
EC Turbo pump
Turbomolecular pump controller
Chamber process kit
Chiller
Pumps
Scrubber
Transfer robot
LL / UL cassette motor
AC gate cylinder
Magnetron generator: EC, AC
SEIKO SEIKI STP-H2000K Turbo pump
Micro PC
1995 vintage.
HITACHI M 308ATEは、研究および産業用途向けに設計された高度なエッチングおよびアッシング機です。それは非常に信頼性が高く、卓越した精度で均一な摩耗パターンを生成します。このドライエッチャーはクローズドループシステムを備えており、エッチング速度と結果パターンが再現可能な高度なフローコントロールユニットを備えています。エッチング処理は、均質なエッチングガスの均一な流れを作り出すガス拡散ノズルによって開始されます。このガスは基材に向けられ、表面に浸透して侵食されます。この制御された浸食が完了すると、エッチングされた領域からガスが排出され、残りの層は灰になります。機械は石英チューブを使用して、アッシングプロセスの温度を調節します。これにより、異なる材料の温度をカスタマイズすることができ、迅速かつ効果的なエッチングを可能にします。M 308ATEには、アーク抑制やエレクトロニクス障害に対する保護などの保護機能も内蔵されており、信頼性と安全性の高いソリューションとなっています。マシンにはさまざまな機能と設定があり、浸食エッチングとプロセス制御を可能にします。例えば、エッチングされる材料に合わせてパワーレベルを調整できます。さらに、エッチング速度と周波数を調整することができ、最適な結果を保証します。また、高解像度で非常に細かいパターンを生成することができ、研究や産業用途にとって非常に貴重なツールとなります。このマシンはまた、ノイズ抑制やアーク障害に対する保護、および内蔵の冷却システムなど、さまざまな安全機能を備えています。HITACHI M 308ATEは、研究や産業環境で使用できる信頼性の高い高性能エッチャー/アッシャーを求めるユーザーに最適なソリューションです。その高度なフロー制御ユニットと調整可能な設定は、結果のパターンが均一で、再現性があり、正確であることを保証します。
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