中古 HITACHI M 308ATE #293660510 を販売中
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ID: 293660510
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2000
Metal etcher, 6"
Microwave: 2.65 GHz
RF Bias: 2 MHz
3 ECR Coils
Etch chamber
Microwave ash chamber: 2.65 GHz
(2) Load locks
Transfer chamber
MFC
Chiller
Power supply
2000 vintage.
日立HITACHI M 308ATEは、Mシリーズの最上位エッチャー/アッシャーです。これは、リソグラフィー加工作業やその他の業界固有の用途のための強力で汎用性の高いツールです。メンテナンス性が低くコンパクトな設計となっています。その機能には、ガスフロー制御、プログラム可能な精密深度制御、および高度な制御コンソールが含まれます。M 308ATEは、金属、ガラス、結晶表面をエッチングすることができます。高密度ガス流量制御機能を備えており、各層に精密なガス流量を供給することができます。ガス制御は制御コンソールを通して調節することができます従ってユーザーは仕事に必要とされる圧力の厳密なレベルを達成できます。ディープコントロールは、エッチング/アッシングの深さをミクロン単位で調整し、非常に精密なエッチングを可能にします。HITACHI M 308ATEのコンソールは高度で、ジョブに応じて複数のコントロールを設定できます。これには、ガス量、ガス圧力、速度制御、深さや面積などの各層の微調整が含まれます。また、多言語ディスプレイを備えており、複数の言語のユーザーがエッチャーを使用することができます。M 308ATEは低メンテナンス設計で設計されているため、正常に機能し続けるには最低限のメンテナンスが必要です。そのコンパクトなデザインは、ほとんどの作業エリアに簡単にフィットするだけでなく、ジョブサイトに輸送することができます。エッチャーには、ほこりや他の汚染物質から保護する内蔵のフィルターと排気システムも付属しています。HITACHI M 308ATEは、高い精度と制御性を提供する堅牢で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。その汎用性はあらゆる製造の仕事のための理想的な選択をし、その低い維持の設計はそれが一定した維持および注意を必要としないで堅いエッチング/ashingプロジェクトに取ることを可能にします。高度な制御コンソールにより、エッチング/アッシングの非常に細かいレベルを達成することができ、コンパクトな設計であらゆる作業環境に最適です。
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