中古 HITACHI M 308AT #9410880 を販売中

HITACHI M 308ATは、半導体加工用に設計されたエッチャーまたはアッシャーです。このプログレードマシンは、多くの産業ユーザーの要求に確実に応える30 cmのサイズを備えています。HITACHI M-308ATは、直径11インチ、高さ6。7インチのチャンバーを備え、クリーンルーム操作に最適です。最大8インチウェーハ処理が可能で、4インチウェーハと8インチウェーハの両方をサポートし、作業スペースを節約できます。M 308 ATには、タイプ8の処理シーケンスもあります。タイプA、 B、 C、 Dの略です。各シーケンスは異なる目的を提供し、処理する材料の種類によって異なります。タイプAはシングルチャンバーで均一なエッチングを提供し、タイプBはデュアルチャンバーで均一なエッチングを行うように設計されています。タイプCはシングルチャンバーでの選択的エッチングに最適ですが、タイプDはデュアルチャンバーでの選択的エッチング用に設計されています。各モードは、あなたが頼ることができる均一で再現性のあるエッチング結果を提供します。M 308ATには、生活を容易にする自動コントローラもあります。これにより、処理シーケンスをプログラムしたり、ウェハローディングとアンロードを指定したり、温度を監視したりアラームを設定したりすることができます。この制御装置は、コンピュータに接続して動作パラメータを通知し、完了した作業を記録することができます。それはあなたがレシピを保存し、リコールすることができ、システムを管理するのに役立ちます強力なソフトウェアを持っています。また、M-308ATチャンバーには不活性ガスユニットが装備されており、エッチング工程中にウェーハ上に落ちる粒子のリスクを低減します。また、エッチング中の温度を一定に保つのに役立つ冷却装置を備えています。これにより、高精度の結果を必要とするドライエッチング用途に最適です。このエッチャー/アッシャーには、一度に最大20個のウェーハを保持できるノズルがあります。ウエハーの間隔をノズル内に設定することができるので、いくつかの異なるタイプのウエハーに対応できます。これは、その低い気流と組み合わされて、それは多くのプロセスのための理想的なオールインワンマシンになります。HITACHI M 308 ATは、リソグラフィ、ウェットケミカルエッチング、イオン注入などのドライエッチング工程に対応するよう設計されています。デュアルチャンバーツールにより、ケミカルメカニカルポリッシング（CMP）などのウェットエッチングプロセスにも使用できます。これはあなたのエッチングの必要性のすべてを満たすこと確実である信頼できる、専門等級機械です。自動化されたコントローラーとユーザーフレンドリーなソフトウェアで、使いやすいです。HITACHI M 308ATには、直感的でわかりやすいユーザーマニュアルが付属しており、必要なトラブルシューティングに役立ちます。