中古 HITACHI M 308AT #102525 を販売中

HITACHI M 308ATは、現代の集積回路デバイスの製造に使用される物理エッチング方法に不可欠なエッチャー/アッシャーです。このデバイスは、半導体デバイスの製造に必要なドライエッチングプロセスと、多くのマイクロマシニングアプリケーションで使用されるさまざまなエッチングおよびアッシングプロセスを実行できます。HITACHI M-308ATの主な目的は、最新のマイクロエレクトロニクスの製造に必要な厳格な仕様と公差を満たすために、正確かつ一貫してエッチングとアッシュを可能にする堅牢でプログラマブルなシステムを提供することです。このデバイスは、金属、シリコン、二酸化ケイ素などの幅広い材料に使用することができ、さまざまなエッチモード動作を備えています。M 308 ATにはデュアルチャンバー設計が組み込まれており、1つのチャンバーにサンプルチャンバーとエッチング用の別のチャンバーが含まれています。サンプルチャンバーにはサンプルを保持するマスクが含まれており、エチャントチャンバーはサンプルチャンバーにエチャントガスを供給します。真空は、より効果的なエッチングを可能にする2つのチャンバー間の圧力差を作成するために使用されます。また、圧力、流量、温度、ガス流量、エッチング時間などのエッチングパラメータを制御する内部コントローラも内蔵しています。これにより、デバイスを再現可能で高精度なエッチングのためにプログラムすることができます。また、安全な動作環境を確保するために、多くの安全機能が組み込まれています。このデバイスは、0。1秒の最小エッチング時間でエッチングすることができ、精度と再現性を維持しながら、製造におけるエッチング時間を短縮することができます。また、HITACHI M 308 ATには5年間の保証があり、高品質で信頼性の高い動作をサポートします。要するに、M-308ATはエッチャー/アッシャーであり、現代の集積回路デバイスの製造に使用される物理エッチング方法に不可欠です。デュアルチャンバー設計、内部コントローラ、各種エッチモード操作を備えており、さまざまな素材のエッチングとアッシングに対応する汎用性の高いデバイスです。また、高品質で安全性に配慮した設計と5年間の保証を備えているため、エッチングおよびアッシング用途において信頼性の高い選択肢となります。