中古 HITACHI M 308 #9190914 を販売中

HITACHI M 308は、半導体業界の用途向けに設計されたエッチャーおよびアッシャー装置です。コンタクトホール、ストライプ、ビアなど、さまざまなプロセスでエッチングとアッシングの両方に使用できます。このシステムは高スループットで設計されており、一度に最大8つのチャンバを制御することができます。このユニットには、さまざまなプロセスに適した多数の機能が装備されています。精密エッチングとアッシングの安定した温度を保証する高感度温度制御機を搭載しています。また、不要な火花や電気アークの損傷のリスクを最小限に抑える低アーク電気ツールを備えています。そのエネルギッシュなイオンビーム源は、基板全体に均一なカバレッジと均一なエッチングを保証します。イオンビームはエネルギーと強度で調整することができ、エッチング工程を正確に制御することができます。また、ウェーハ表面への粒子付着を防ぎ、汚染を最小限に抑える水素パージモデルを採用しています。この装置は、高度なプラズマエッチング技術を備えており、解像度を向上させてエッチング速度を向上させることができます。チャンバーは4つのウェーハボウルで設計されており、一度に最大4つのウェーハを処理できます。また、2つの独立したロボットアームシステムを備えており、ウェーハプレートの積み下ろしが可能です。システムに含まれている安全機能は、クリーンルーム環境での使用に適しています。このユニットには自己尊重タイマーが装備されており、潜在的に爆発性または危険性のある物質が存在する環境でも安全に動作します。この機械には、資産内のガス漏れを検出するように設計されたガス分析ツールもあります。HITACHI M-308は、半導体業界の様々な用途に適した効率的で信頼性の高いエッチャーおよびアッシャーモデルです。この装置は高精度で、温度制御システム、イオンビーム源、水素パージユニットなどの高度な機能を備えており、最適な性能を確保しています。これは、その安全機能と組み合わせて、クリーンルーム環境で使用するための理想的なマシンになります。