中古 HITACHI / KOKUSAI RAM8500Z #9412478 を販売中

ID: 9412478
ヴィンテージ: 1996
System 1996 vintage.
HITACHI/KOKUSAI RAM8500Zは、高度な加工設備により、エッチング・アッシング能力に優れた高性能エッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、エッチング/活性化基板を正確に適用する独自のセラミック対応の厚膜マルチトラックエッチングヘッドを採用し、最大1/2ミクロンの製造精度を実現しています。HITACHI RAM8500Zは、200mm x 200mmまでの基板に対応可能で、低温で無空気のプラズマエッチングシステムを採用しています。国際RAM-8500Zは、高度なエッチングとアッシング機能に加え、トップローディング充電ステーションを備えており、複数のウェハを一度に処理するための便利で効率的な方法を提供します。HITACHI/KOKUSAI RAM-8500Zには、ガラス被覆複合材料、半絶縁基板、その他の微細構造材料など、大型ガラススライドや各種基板の精密な調製が可能な高解像度拡大ユニットがあります。このエッチャー/アッシャーは、三脚スキャンユニットとの同時エッチング/アッシング制御も提供し、エッチングパラメータの面で優れた速度と精度を提供します。また、高負荷の充電ステーションや高解像度拡大ユニットに加え、低圧、高スループット処理を可能にする真空ベンチュリ機、工具ノイズレベルを低減する電磁干渉防止機能をRAM8500Zしています。HITACHI RAM-8500Zは、プラズマエッチング速度、電流、電圧、電力など、すべてのプロセスパラメータのフィードバックを提供する高度な監視アセットを備えています。このエッチャー/アッシャーは、高度なプロセス制御機能も備えており、ユーザーはリアルタイムでエッチングおよびアッシング条件を監視および調整して目的の結果を達成することができます。RAM-8500Zは、幅広いエッチングおよびアッシング用途において、精密なプロセス制御と信頼性を必要とするユーザーに最適な、信頼性の高い効率的なエッチャー/アッシャーです。その先進的な機能により、RAM8500Zは多種多様な基板や材料を取り扱うことができ、高品質のエッチングとアッシングの結果を得ることができます。
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