中古 HITACHI / KOKUSAI RAM6500 #9251841 を販売中

HITACHI/KOKUSAI RAM6500は、業界と研究機関の両方のために設計された最先端のエッチャーとアッシャーです。この市場をリードする真空加工装置には、高精度エッチング、ウェーハ切断、短時間のアッシング機能を単一のユーザーフレンドリーなツールに組み合わせる高度な技術が搭載されています。HITACHI RAM6500は、1回の稼働期間で様々なレシピを可能にする統合設計により、比類のないレベルの汎用性を提供します。その高度な機能には、温度制御装置、幅広いプロセスチャンバー、および設定を簡単に操作するためのユーザーフレンドリーなインターフェースが含まれます。温度制御システムは、一定のプロセス条件を維持し、信頼性の高い正確な結果を提供します。さらに、幅広いプロセスチャンバーは、チップから200mmまでのさまざまな基板サイズに対応でき、柔軟性と幅広い用途に対応できます。KOKUSAI RAM6500のユーザーフレンドリーなインターフェースにより、エッチングパラメータを簡単に保存、リコール、修正できます。このツールには、操作のバリエーションが発生した場合にユーザーに警告する安全機能も装備されており、最適な安全性を提供します。さらに、RAM6500は、0。1 ±以内の再現性スコアを備えた優れたプロセス再現性を提供µmため、各ファウンドリの実行と高精度と一貫性を保証します。コントローラ、自動基板ホルダー、真空チャンバー、不活性ガス搬送機、エッチングツール、アッシング資産など、さまざまな部品で構成されています。これらのコンポーネントはすべて、ユーザーの希望するレシピを迅速かつ効率的に実装するために協力します。さらに、HITACHI/KOKUSAI RAM6500は最大4つのウェーハを同時にエッチングすることができ、プロセスの効率を高め、全体的な作業負荷を低減します。HITACHI RAM6500は、プロセス能力、汎用性、操作性に優れた高度なエッチャー/アッシャーです。高精度のエッチング、切断、アッシングを可能にする機能と、ユーザーフレンドリーな機能を組み合わせることで、さまざまなエッチングおよびアッシングのニーズに最適なソリューションです。