中古 HITACHI DM 421P #9286876 を販売中

HITACHI DM 421Pは、ウエハ加工専用のエッチャー/アッシャーです。4つの独立したプロセスチャンバーとシンプルなユーザーインターフェイスを備えたコンパクトなデザインを特徴としています。この装置は、外部環境が敏感なウェーハ材料に与える影響を最小限に抑えるために、スライドドアで囲まれています。このシステムは、1つのプロセス・サイクルで最大4つのウェーハを同時に処理できます。使いやすい生産レシピスクリプティングエンジン、ウエハハンドラ、3軸リニアトランスファーメカニズムが付属しています。ユニットの水平プロセスチャンバーは均一な温度分布を持ち、ウェーハ全体の均一なエッチング/アシュニングを保証します。DM 421Pは、高精度温度制御の高精度コントローラを使用しており、優れた温度均一性と精度を実現しています。ドライエッチングおよびウェットエッチング機能により、プロセスエンジニアはアプリケーション要件を満たすためにレシピを最適化できます。このマシンには、リアルタイムのプロセス監視とフィードバックを提供するために、現場で自動化された電気化学モニターとセンサーの高度なセットが装備されています。インテリジェントトランスポートツールはウェーハの効率的な処理を提供し、ウェーハハンドリングコマンドは複数のプロセスで簡単かつ再現可能な自動化を可能にします。日立DM 421Pでは、不活性ガスのパージ、排気ポート閉鎖アラーム、緊急排気ポートなどの安全機能も備えています。これらの機能は、潜在的な汚染物質への曝露からオペレータを保護し、プロセスの再現性と信頼性を向上させます。DM 421Pには、ユーザーがレシピを最適化し、チャンバーアセットパラメータの詳細な履歴レポートを提供できる包括的なソフトウェアツールが付属しています。これらのツールを使用すると、ユーザーはプロセスレシピの有効性とモデルのパフォーマンスを評価できます。HITACHI DM 421Pは全体的に、ユーザーに高精度のウェーハ処理能力をもたらすように設計されており、制御性と信頼性の高いパフォーマンスを提供します。独立したチャンバー、効率的なウェーハハンドリング、および包括的なソフトウェアの強力な組み合わせにより、あらゆるエッチングおよびアッシングアプリケーションに不可欠なツールとなります。