中古 HITACHI 300LE #293667223 を販売中

HITACHI 300LE etcherは、マイクロエレクトロニクス機器の高精度・高速アブレーション・エッチングに使用される高性能エッチング・アッシング装置です。300LEは、主に炭素、窒化物、酸化物のエッチング化学物質を使用する頑丈で信頼性の高い真空エッチャー/アッシャーです。HITACHI 300LEは、X、 Y、 Z方向の正確な制御と位置決めが可能なフルサイズのステッピングモータシステムを搭載しています。マイクロサーキットや超伝導体の高速エッチングに、最大1150mm/sの高速エッチングが可能です。エッチャー/アッシャーユニットは、正確な位置制御と高度な温度および時間制御機能を提供します。また、基板温度を管理するためのSCAパラメータと、時間を制御するためのWCAパラメータも提供します。高解像度ディスプレイには、高輝度LCDとグラフィカルユーザーインターフェイスが付属しており、ユーザーはマシン全体を簡単に操作および監視できます。300LEには、アーク制御用の周期波形、エッチング化学供給用ガスフロー比例コントローラ、溶剤蒸発用ドレインアウトレット付きハイドロスクラバー、チャンバーイナートガス再循環ツール、Y軸、 X軸、 Z軸モーションコントロールアセットなどのインラインプロセス制御があります。また、HITACHI 300LEエッチャーは、安全カバー、真空安全検出器、非常停止スイッチを備え、高い安全性と人間工学に基づいた設計を特徴としています。幅広いプロセス制御機能を備えており、ユーザーは複数の基板に対してエッチングおよびアッシングプロセスを最適化できます。300LEはまた、低、中、高エッチング速度のオプション、および酸化物、窒化物および炭素ベースのレジスト層を迅速に除去するための幅広いエッチング化学物質を提供しています。HITACHI 300LEエッチャーは、マイクロエレクトロニクス基板の高精度・高速エッチングに最適です。その信頼性の高いエッチケミストリーと正確な位置制御により、ユーザーはエッチングとアッシングプロセスの両方で高品質の結果を達成することができます。