中古 GPTC / GRAND PLASTIC TECHNOLOGY CORP 50-300 #293637226 を販売中

GPTC/GRAND PLASTIC TECHNOLOGY CORP 50-300は、基板上に300 nmまでのパターンを提供することができる幅広いプロセス、極端な精度、再現性を備えた浅いエッチャー/アッシャーです。この装置は、エッチングとアッシングのプロセス条件に最適で、1ステップで小さなフィーチャーサイズを生成するように設計されています。その高度なパターニング技術を通じて、それは非常に均一なエッチングやアッシングで大小の特徴や領域をカバーすることができます。GPTC 50-300は、フォトレジスト除去や平滑化などのプロセスに最適なシングルステップの浅いエッチングおよびアッシングシステムです。このユニットは50cm x 300cmフレームで構成されており、25cm x 50cmの4つのプラズマ反応チャンバーを収容しており、さまざまなタイプの固定アセンブリと互換性のあるフランジインターフェイスを備えています。フレームには、プラズマ源、電源、コントローラ、真空ポンプなど、必要なすべての機械部品も含まれています。GRAND PLASTIC TECHNOLOGY CORP 50-300独自の設計により、エッチングとアッシングのプロセスを厳密に制御し、基板上の厳しい許容特性を実現します。その均一なプラズマ分布は、優れた特徴均質性と解像度をもたらし、特徴の垂直性とタイトな線幅制御を備えています。高度なオートコリメータープロセスにより、部品を破壊するリスクなしに特別な慎重に制御された処理環境を必要とする危険な微細な機能のエッチングとアッシングを可能にすることができます。50-300はまたよい反復性を維持しながら部品の適用範囲が広い配置および端に処理を提供する高度の据え付け品と統合されます。スピンコーティング、近接コーティング、蒸着、スパッタリングなど、複数の基板加工技術と元シトゥ成膜技術を使用できます。さらに、C2F6/SF6、 CF4/O2、 CF4/Ar混合ガスなど、さまざまなガス化学の組み合わせを使用することができ、混合比を簡単に調整して所望のプロセス結果を達成することができます。要約すると、GPTC/GRAND PLASTIC TECHNOLOGY CORP 50-300エッチャーアッシャーは、部品を損傷や汚染にさらすことなく、プラスチック部品やその他の繊細な材料の完全な均一なエッチングとアッシングを達成するための理想的なソリューションです。このモデルは、300 nmまでの機能サイズで、高精度な再現性と精度のプロセスを提供します。すべての高度なエッチングおよびアッシングシステムと同様に、GPTC 50-300は、ユーザーの好みに応じて手動または自動モードで操作できます。