中古 GLOW RESEARCH AutoGlow #9194105 を販売中

ID: 9194105
ヴィンテージ: 2008
Plasma system Pressure output display Automatic tuning Solid state phase Magnitude detector Two adjustable flowmeters for two gases Solid state electronics Diagnostic LED card Adjustable power in one watt increments Electronics control board RF Matching network RF Generator Quartz chamber with gas distribution tube RF Power applied metal sheet Ground bottom electrode Options: Vacuum pump Aluminum sample holder Quartz sample holder Spare parts kit Power: 20 to 300 Watts CE Marked 2008 vintage.
GLOW RESEARCH AutoGlowは、微細加工および化学工学研究に使用するための高度なエッチャーおよびアッシャーです。サブミクロン精度で基板上の化学処理が可能です。温度を正確に制御することで、エッチングまたはアニーリングプロセスの均一性と再現性が保証されます。AutoGlowは多くの革新的な要素で設計されており、業界最高水準を満たすことができます。高度な水晶マイクロバランスセンサーは、650-950C範囲の基板温度を正確に監視および制御できます。装置の高度な電源は、より柔軟な動作範囲を提供し、必要な結果に応じて処理をより速く、または遅く実行することができます。操作中の安全性を高めるため、GLOW RESEARCH AutoGlowは包括的な保護機能を備えています。これらには、ガス圧の危険な蓄積を防ぐための安全遮断バルブと、プロセス環境の清潔さを維持する特別な真空システムが含まれます。さらに、安全監視およびデータロギングのためのさまざまなセンサーを供給することができます。AutoGlowは強力で信頼性の高いツールで、ユーザーは非常に高い精度で正確なエッチングとアニール処理を実行できます。また、操作を簡単にするカラータッチスクリーンコントロールパネルを備え、ユーザーフレンドリーに設計されています。このマシンには、迅速な故障診断とメンテナンスを可能にする洗練された診断ツールも装備されています。一般的に、GLOW RESEARCH AutoGlowは、最新のエッチングおよびアニール技術を提供しており、ユーザーは優れた精度、制御、再現性を達成できます。その機能の範囲は、材料科学からチップ製造まで、幅広い用途に適しています。その使いやすさと安全性の特徴は、産業用および教育用の両方に人気のある選択肢です。
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