中古 GIGATECH TSA2000 #9278820 を販売中

GIGATECH TSA2000は、産業用に設計された信頼性の高い高度なエッチャー/アッシャー装置です。ガラス、石英、セラミックス、シリコンをはじめ、薄膜、粒子、複合材料など、さまざまな大型基板の加工に適しています。このシステムは、金属、合金、およびポリマーを含む蒸着プロセスにも適しています。TSA2000はマルチゾーン構成と急速な熱スイッチング機能を備えており、基板全体に迅速かつ均一な熱分布を可能にします。これは、エッチングとアッシングのプロセスの均一性に不可欠です。ユニットはまた、プロセス全体を監視および管理するために信頼性の高い正確なセンサーフィードバックで設計されています。GIGATECH TSA2000は大型タッチスクリーンLCDディスプレイを備えており、オペレータは操作のすべてのステップを直感的に監視および制御することができます。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）により、ユーザーは簡単にパラメータを調整してプロセス全体を監視できます。処理中の基板を拡大するカメラを搭載しており、操作のあらゆる段階を厳密に制御できます。TSA2000の高度の熱棚付け機械は熱放散を改善し、処理されるあらゆる目的で酸化か他の温度関連の損傷が起こることを防ぐように設計されています。このツールは、熱保護に加えて、流体力学エッチングや化学エッチングなどの機械的応力の制御も提供します。また、デュアルハロゲンガスタイトシーリングアセット、換気されたプロセスチャンバー、不活性ガス雰囲気など、さまざまな安全機能を提供します。GIGATECH TSA2000は、スムーズな操作と柔軟性のために設計されています。加熱カートリッジ、自動ローディングシステムなどのプロセスツールを備えており、生産性を最大限に高めるために容易にアップグレードできます。エッチャー/アッシャーは、高度な真空技術により、独特の低温および低圧蒸着（LTD）環境を備えています。これにより、500〜1000°Cの温度範囲での精密なエッチングおよびアッシング動作が可能になります。TSA2000は、高精度のエッチングとアッシングプロセスが必要な産業用途に最適です。堅牢で信頼性が高く、スピードと自動化のために設計されています。これは、比類のない精度とエッチングとアッシングプロセスに対する比類のない制御を提供します。