中古 GASONICS PEP Iridia #9293817 を販売中

GASONICS PEP Iridiaは、高圧トランジスタ、光電子、光電子デバイスなどの高度な半導体デバイスの製造に使用される高精度エッチャー/アッシャーです。それは完全に自動化された400 mmプラットフォーム上に構築されており、レーザー駆動のスキャン光学系とデュアルソース、マルチガス、化学蒸着（CVD）プロセスを備えています。エッチャー/アッシャーは、追加のエッチング工程を必要とせず、あらゆる基板タイプで高いフィルム品質と優れた均一性を提供する、新しい非酸化プラズマプロセスを利用しています。PEP Iridiaには、高度なin situ光学モニター機器を含む、プロセス制御と再現性のためのいくつかのツールが装備されています。このアダプティブ制御システムは、温度、圧力、ガス流量、エッチング速度などの堆積パラメータを自動的に維持し、低バリエーションおよび再現可能なデバイス製造プロセスを保証します。さらに、プロセスモニタリングユニットを内蔵することで、ウェハ全体の均一性を維持した正確なウェハレベルのプロセスを達成するのにも役立ちます。GASONICS PEP IRIDIAには、ウェハローディング、フェッチ、ソートなどの機能を実行する洗練されたロボティクスマシンがあります。スルーメッキの厚さ、均一性、精度、ラインの整合性という点で優れた性能を発揮します。これにより、高度な半導体、積層回路、高アスペクト比の高分解能フォトマスクの製造に適しています。PEP Iridiaはまた、エッチング工程で最適なガスの流れを可能にする統合ガス供給パネルを備えています。統合されたコントローラは、プロセス制御を確実にし、熱管理を最適化するためにガス混合物を調整します。さらに、ダイナミックプロセスモニタを内蔵したこのツールは、正確なプロセス監視を可能にし、リアルタイムプロセスデータのフィードバックを提供します。GASONICS PEP IRIDIAは、最も困難な基板上でも均一で再現性のある高品質な結果を生成するように設計された高性能エッチャー/アッシャーです。インテリジェントな設計とユーザーフレンドリーなインターフェースにより、幅広い半導体アプリケーションのデバイス開発とプロセス最適化に適しています。