中古 GASONICS / NOVELLUS Strata #293760972 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Strataは、高度なテクノロジーノードのエッチングとアッシングのニーズを満たすために構築された高度なエッチャーおよびアッシャーシステムです。特許取得済みのContour Sensor Technologyにより、比類のないパフォーマンスと稼働時間を提供します。ハイエンドのロープロファイル設計により、GASONICS Strataは、コストを最適化し、歩留まりを最大化するための専門知識を備えた幅広い製品に適応することができます。NOVELLUS Strataは、幅広い高度なノードノード上で再現性のある高品質なエッチングとアッシングの結果を生成するように設計されており、さまざまな処理ニーズに最適です。最大2つのウェハの積載量と最大400 wpmのスループット、および2％未満の厚さの均一性により、Strataは最も困難なエッチングおよびアッシング要件に対応できます。エッチング深度を精密に制御し、均一なエッチングまたはアッシングプロファイルを提供します。GASONICS/NOVELLUS Strataは、エッチング液の流量と温度を可変的に制御する高度な酸化およびエッチングチャンバーと最新のGASONICS流体供給システムを備えています。また、特許取得済みのContour Sensor Technologyを使用して地形を継続的に測定および監視し、GASONICS Strataは高アスペクト比の構造でも正確な寸法を維持できます。この高度なセンシング技術は、プロセスの信頼性を向上させ、基板の損傷を防ぐのにも役立ちます。また、NOVELLUS Strataは、エッチングおよびアッシングのニーズをカスタマイズするための幅広い選択可能な圧力、電力、および温度パラメータを備えた、高品質のアッシング用プラズマ源を備えています。先進的なプラズマ技術、ガス、化学製品を組み合わせることで、エッチングやアッシングの必要性を実質的に満たすためのカスタマイズオプションを備えた先端材料のエンジニアリングが可能になります。Strataは、高度な故障診断とリモートコントロールサポートを組み合わせて、メンテナンスと保守性を容易にするように設計されています。GASONICS/NOVELLUS Strataには、オペレータ安全インターロックと機器安全インターロックが内蔵されているほか、絶縁面のコンフォーマルコーティングもオプションで提供されます。それは高いシステム稼働時間と低い運用コストを提供し、それにお金のための優れた価値を与えます。GASONICS Strataは、包括的なカスタマーサポートサービスとトレーニングプログラムにも支えられています。