中古 GASONICS / NOVELLUS Sierra #9312059 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Sierraは、高度で汎用性の高い機能を備えた最先端のエッチャーとアッシャーです。このデバイスは、真空チャンバー、真空ノズル、および均一な処理プラットフォームを備えており、小さな基板の精密かつ制御されたエッチングとアッシングを可能にします。低温蒸着（LTD）プロセスにより、非常に薄い蒸着が可能です。GASONICS Sierraは、集積回路（IC）製造のための重要なツールであり、材料の層の除去または1つ以上の薄い層の材料の堆積を可能にします。プラズマアッシャーとドライエッチングの両方が可能で、各プロセスはさまざまな用途に使用されます。エッチング剤は、処理される特定のウエハ基板および層材料に最適に対応するように選択できます。NOVELLUS Sierraは高いスループットを備えており、アルミニウム、ポリシリコン、シリコン酸化物、耐火金属などあらゆる種類の材料をエッチングするのに効果的です。温度範囲が広いため、さまざまなエッチング処理が可能です。信頼性が高く効率的であるため、最大数のラインエッジラフネス（LER）およびクリティカル寸法（CD）要件が可能です。高品質なIC加工に最適です。シエラはまた、大容量のチャンバーを備えており、多数の基板を取り扱うことができます。バルク材料を迅速かつ効率的に除去し、高精度を提供することができます。GASONICS/NOVELLUS Sierraは、基板を効率的に搬送することができるため、柔軟性が高く、効率的で効果的な材料の堆積と除去が可能です。GASONICS Sierraは、薄い層と高解像度を必要とするプロセスで、IC製造用に設計されています。優れた信頼性、性能、柔軟性を提供し、ICアプリケーションに最適なエッチャーおよびアッシャーです。