中古 GASONICS / NOVELLUS PS 10 #9192618 を販売中

GASONICS/NOVELLUS PS 10は、半導体製造プロセスにおける高度な成膜またはエッチング工程用に設計されたエッチャー/アッシャー装置です。システムは2つの主要な単位から成っています；スパイラル400W電源とLAM 9600プラズマエッチャー/アッシャー。薄膜、線、層、ビアなどの高品質で高精度な回路機能を実現する費用対効果の高いソリューションです。スパイラル400W電源は、インテリジェントで自己調整可能な出力モジュールと制御可能な出力段で構成され、エッチングおよびアッシングプロセス中に均一な電流と電圧を提供します。柔軟に設計されており、特定のプロセスの条件や要件に応じてカスタマイズすることができます。このモデルはまた、ユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスを通じて有効にされている高度な制御機能を提供します。一方、LAM 9600プラズマエッチャー/アッシャーは、特に高度なエッチングおよびアッシングプロセス用に開発された高密度プラズマチャンバーと統合されています。バッチモードで最大20個のウェーハに対応できる4インチウェーハローディングユニットを装備し、清潔性とプロセス安全性のための業界最高の要件を満たすように設計されています。また、高レベルの精度を維持しながら、高スループットエッチングやアッシングなど、さまざまなプロセス機能を提供します。また、GASONICS PS 10マシンは、インターロックシステムや安全プロセスなどのさまざまな安全機能を提供し、危険な高温に安全に対処することができます。このツールは、資産の操作のためのクリーンで安全で信頼性の高い環境を確保するのに役立つ窒素シャワーとターボ分子ポンプを利用しています。さらに、このモデルは高度な診断装置を採用しており、システムの動作とパフォーマンスに影響を与える可能性のある異常を検出および診断することができます。全体として、NOVELLUS PS 10ユニットは、半導体製造プロセスにおける高度な成膜およびエッチングプロセスを実行するための効果的で信頼性の高いソリューションです。それは費用効果が大きく、適用範囲が広い制御特徴を提供し、安全で、信頼できる職場環境を保障するのを助ける多数の安全特徴が付属しています。エッチングとアッシングプロセスの最も困難なプロセスで一貫した正確な結果を提供することに頼ることができます。