中古 GASONICS / NOVELLUS PEP Iridia #9102816 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 9102816
ヴィンテージ: 2005
Poly etcher, parts machine
(2) Chambers
Cluster PC
(2) PCM PC
YASKAWA Robot
YASKAWA Robot controller
Main body
Missing parts
Cluster mini controller
Left PMSC mini controller
Left PGAS mini controller
Left PMWV mini controller
Left PEOP mini controller
Left lamp mini controller
Left temp controller
Left M/W generator
Left RF generator
Left RF matcher
Left RF matcher box
Left PUMP
Left chiller
Right PMSC mini controller
Right PGAS mini controller
Right PMWV mini controller
Right PEOP mini controller
Right lamp mini controller
Right temperature controller
Right M/W generator
Right RF generator
Right RF matcher
Right RF matcher box
Right pump
Right chiller
MFC Gas 1
BROOKS
6265C
CF4 100 SCCM
MFC Gas 2
BROOKS
6265C
N2 500 SCCM
MFC Gas 4
BROOKS
6265C (Right: S9Z84402)
H2 2SLPM
MFC Gas 5
BROOKS
6265C
NF3 20 SCCM
MFC Gas 8
BROOKS
6265C
O2 50 SCCM
Includes:
(2) Chillers
No pump
2005 vintage.
GASONICS/NOVELLUS PEP IRIDIAは、サブ300mmウェーハ処理用に設計された高度なエッチング/アッシャー装置です。フォトレジストやストリッピング、バリア層、浅いトレンチ分離、III-V化合物層など、幅広いプロセスで使用できます。GASONICS PEP Iridiaは、高度なエッチング技術に基づいて構築されており、デュアルウェーハロードロックインターフェイスを備えたSynchronous Gas Delivery （SGD）を備えています。これにより、使用される化学物質を精密に制御することができ、目的のエッチング種を高精度に適用することができます。NOVELLUS PEP IRIDIAは、エッチング中の活性種の比率を正確に制御することができ、高い製品の均一性とプロセス仕様の改善を可能にします。また、すべてのシステム構成で交換可能なプロセスを可能にする可変周波数ガス交換（VFGE）も紹介されています。PEP IRIDIAは、複数のウエハサイズを処理できる完全統合エッチングユニットです。ウエハーの連続ロードとアンロードのために設計されており、個々のウエハプロセスを可能にするソフトウェアを備えています。この機械は、工具に接続されたさまざまな高度なセンサーと組み合わせることができ、プロセスをリアルタイムで監視することができます。これにより、エッチングプロセスの精度と安定性が向上します。NOVELLUS PEP Iridiaは、温度制御と精度を向上させ、完全に自動化されたサーマルプロファイリング資産を備えています。これは、最新のPECVDおよびICPプロセスを可能にする非常に柔軟なガス制御モデルと一致しています。全体として、PEP Iridiaは、300mm以下のウェーハ処理用に設計された高度なエッチング/アッシャー装置です。エッチングプロセス中の精度、安定性、精度を可能にするための高度な技術と、柔軟性とカスタマイズを可能にするさまざまなソフトウェアを備えています。
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