中古 GASONICS / NOVELLUS PEP Iridia #122247 を販売中

GASONICS/NOVELLUS PEP IRIDIAは、GASONICSとNOVELLUSがエッチングとアッシングのプロセスの複雑さと速度を向上させるために設計した特殊なエッチング/アッシュ装置です。GASONICS PEP IRIDIAは、高度なレーザーアブレーション技術を活用し、マイクロエレクトロニクス業界で使用される半導体ウェーハの効率的で汎用性の高いマスキングおよびエッチングソリューションを提供します。NOVELLUS PEP IRIDIAは、ウェーハの全表面領域にわたって高精度レーザーアブレーションを可能にする多軸スキャンヘッドを備えています。このスキャンヘッドには、ケミカルマスクをターゲットにするときに形状/強度の組み合わせの複雑なネットワークを作成することができ、構成可能なレーザーエミッタの配列が含まれています。そのコンピュータ制御スキャン速度は最大300 mm/sに達することができ、1〜300 msの間のパルス幅で動作します。さらに、PEP Iridiaは、0-200 mJ/cm^2パルスからの調整可能な電力を持つレーザー源を使用して、オペレータは必要に応じてエッチングと灰プロセスを微調整することができます。これにより、柔軟な調整とカスタマイズが可能になり、結果を手元のアプリケーションのニーズに完全に合わせて調整することができます。さらに、このシステムは、ユーザーの安全を念頭に置いて設計されており、ダブルセーフティインターロックと、衝撃を吸収し、放散する新しいバイオ弾性安全層を備えています。エッチング/アッシュユニット全体が高度に自動化され、構成可能であるため、セットアップと操作が容易です。GASONICS PEP IRIDIAは、GASONICS/NOVELLUSおよびGASONICSソフトウェアと組み合わせて動作し、複雑な設計図面をすばやく入力し、エッチング/灰のレシピに正確に翻訳することができます。この機械は最終的に、優れた精度で効率的で再現性のある信頼性の高い化学マスキングおよびエッチング処理を可能にします。