中古 GASONICS / NOVELLUS PEP 4800DL #9404470 を販売中

GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DLは、半導体、材料科学、サブミクロンデバイス製造環境で使用するために設計された最先端のプラズマエッチャー/アッシャーです。この装置は、エッチングとアッシングの幅広いプロセスを実行することができ、大量の生産ランで使用するために設計されています。このシステムは、デュアルレーザープラズマエッチングプロセスを使用しています。つまり、異なる波長の2つのレーザーを使用して材料を同時に蒸発させ、基板全体で優れたエッチング精度と均一性を実現します。GASONICS PEP 4800DLは5x5mmのビームスポットを備えており、5nmまでのサイズのエッチングが可能です。このユニットは1バッチにつき最大600個のウェーハを搭載し、ユーザーが特定のデバイス要件に合わせてエッチングレシピをカスタマイズできるようにするレシピと編集機能もプログラムされています。機械には化学とガスの両方が搭載されており、幅広い材料を処理することができます。化学供給源は、柔軟なホースによってツールに接続されている化学供給で構成されています。ガス源は、エッチングとアッシングガスを資産に供給するために使用される無線周波数電源装置で構成されています。このモデルには、高真空チャンバーと、エッチングサイクル全体を通してエッチング処理を監視することができるいくつかのin-situおよびex-situモニタリングセンサーもあります。これにより、高レベルのプロセス制御が保証され、均一なエッチング性能が保証されます。この機器には、オペレータの安全を確保するための包括的な安全スイートも装備されています。全体として、NOVELLUS PEP 4800DLは、大量生産用に設計された、信頼性が高く正確なプラズマエッチャー/アッシャーです。このシステムは、優れたエッチング精度と均一性を提供し、機能を5nmまでエッチングすることができ、ユーザーが特定のデバイス要件に合わせてエッチングレシピをカスタマイズできる一連の機能を備えています。