中古 GASONICS / NOVELLUS PEP 4800DL Iridia #9382963 を販売中

GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridiaは、マイクロエレクトロニクスデバイス用途に高度なプロセス最適化を備えた高度なエッチングおよびアッシング技術を提供するプラズマ強化化学蒸着（PECVD）装置です。このエッチャー/アッシャーは、蒸着の均一性、再現性、均一性を正確に制御することで、効率的なデバイス形成、統合、および強化を容易にし、デバイス層の変動を排除し、正確な薄膜蒸着を可能にします。システムの統合されたウェーハヒーター、オートメーション、および改良された分散技術により、再現可能な結果を得るための信頼性の高い効果的なプロセス制御が可能になります。GASONICS PEP 4800DL Iridiaは、高性能ガスブランケットユニットを使用して、幅広いエッチング化学製品をサポートし、業界をリードするエッチング率と均一性を提供します。高度なソフトウェアテクノロジーを搭載し、カスタマイズ可能な方法でプロセスの最適化と微調整を可能にし、さまざまなデバイスの高品質なプロセス結果を可能にします。エッチャー/アッシャーの特許取得済みの動的プロセス統合（DPI）技術は、高度なアルゴリズムを使用して、ウェーハごとにエッチングとアッシングのジョブを最適化します。DPIテクノロジーは、ウェーハレベルのデータをインテリジェントに解釈し、ユーザーがジョブレシピをカスタマイズしてスループット、歩留まり、品質を最大化できるようにします。NOVELLUS PEP 4800DLイリディアの先進的なソフトウェアetch™技術により、ブロードバンド、低電圧エッチングが可能になり、エッチング速度のばらつきなくエッチングの深さを制御することができます。これにより、より細かくエッチングされた構造とナノスケール機能を製造することができ、デバイスの設計がより複雑になります。このツールには、Adaptive Processing Control™テクノロジーを搭載した高性能で完全に自動化された制御アセットが搭載されており、ユーザーはエッチングとアッシングパラメータを簡単に調整でき、完璧なウェハ品質と均一性が得られます。このモデルでは、リモートAssistance™ソフトウェアも提供しており、生産性を最大化し、ダウンタイムを最小限に抑えるための専門的なリモートオンデマンドサービスを提供しています。PEP 4800DL Iridiaは、プロセス効率をさらに向上させるために、DCヒーリングとプレクリーン技術を特長としており、エッチング前にHClを蒸発させる必要がありません。また、自動クリーニングプロセスを搭載しており、エッチング間での迅速なウェーハ精製が可能です。GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridiaは、高品質のエッチング、アッシング、およびマイクロエレクトロニクスデバイスの蒸着用に設計された、強力で高度なエッチャー/アッシャーシステムです。洗練されたプロセス最適化とカスタマイズ機能、優れた制御と均一性、効率的な分散および洗浄技術により、GASONICS PEP 4800DL Iridiaはあらゆる製造施設に最適です。