中古 GASONICS / NOVELLUS PEP 4800DL Iridia #9308743 を販売中
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GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridiaは、半導体ウェーハの高スループット、低プロファイルのバックエンド処理用に設計されたエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、2層のロボットアームを使用して、業界標準の理想的な半導体ファブ環境で動作します。4軸ロボットアームの最初の層は、エッチャー/アッシャーユニット内のチャンバー内と外の個々のウェーハを移動するために使用されます。ロボットアームの第2層は、ウェーハをマウントして正確に配置し、エッチング/アッシング処理に不可欠なアクセサリーを配置するために使用されます。GASONICS PEP 4800DL Iridiaは、低温で動作する自動処理チャンバを備えており、スループットを最大化しながら高品質の結果をもたらします。この部屋は350°Cまで温度が可能です。また、エッチング/アッシング中にガスや溶剤の導入を可能にするいくつかのチャンバーと、後処理のウェーハの品質を監視するために使用することができるチャンバーを備えています。さらに、NOVELLUS PEP 4800DL Iridiaは、プロセス機器とウェハを正確に整列させるための高品質のCCDイメージングマシンを備えています。このツールは、エッチング/アッシングプロセスのプログラムされた最適化を可能にするオーダーメイドのオペレーティングソフトウェアで動作します。このソフトウェアは、可能な限り最高の結果を達成するために、処理圧力、温度、時間などのパラメータを制御するようにプログラムすることができます。さらに、アセットをリモートで簡単に監視および制御できるため、プロセスの管理に高い柔軟性が得られます。全体として、PEP 4800DL Iridiaは、高性能、低温プロセス制御と柔軟性を提供する優れたエッチャー/アッシャーモデルです。最小限の廃棄物で高いスループットと、半導体ウェーハの処理に優れた結果を提供します。堅牢な設計により、ピーク容量で稼働する半導体工場に最適であり、ウェーハ生産の究極の効率と精度を実現します。
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