中古 GASONICS / NOVELLUS PEP 4800DL Iridia #293595640 を販売中

GASONICS/GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridiaは、超高精度クリティカル層エッチングおよび高速処理用に設計された産業用エッチャー/アッシャーです。浅いトレンチエッチング、トレンチツートレンチメッキ、ドライエッチング、裏面接触エッチングなど、幅広いハイエンド加工が可能です。高度なリソグラフィ装置とガス供給システムを使用して、精度と再現性の高いサブミクロンレベルで困難な構造を生産することができます。機械は高い一貫性を保障し、エッチングされるおよびashed層の両方の最適の配置を可能にする独特な二重段階の版の回転単位が装備されています。PEP 4800DLは、最大8インチの基板処理が可能です。（200のmm）直径および0。4まで。（10 mm）厚い。ウェットエッチングとドライエッチングの両方を使用し、非常に複雑なデバイスの生産を可能にします。標準機能として、このマシンには強力で安定したDC/ACプラズマ源が装備されており、常に安定したプルームを提供します。最大の柔軟性のために、マシンは最大24個の独立したプロセス室を装備することができ、さまざまな化学前駆体やガスを処理することができます。高度な統合ガスデリバリーマシンは、高い信頼性と一貫したガスフローを提供し、エッチングまたはアッシング要件に最適なプロセスを保証します。PEP 4800DLは完全に自動化されており、内蔵のモニターおよびデータ収集ツールを備えているため、オペレータの介入を排除し、正確で再現性の高い結果を提供します。高度なコンピュータ制御プロセスサイクルで構成されているため、エンジニアはプロセスパラメータを変更してプロセスを最適化できます。さらに、オプションの後処理メカニズムを装備することができ、処理中の完全な欠陥を確保するために使用することができます。また、NOVELLUS/GASONICS/NOVELLUSのアフターマーケットプロセス監視および分析ソフトウェアと統合されているため、処理中のプロセス制御と追跡を完了できます。