中古 GASONICS / NOVELLUS PEP 4800 #9352587 を販売中

GASONICS/NOVELLUS PEP 4800は、精密アプリケーションにおいて比類のない性能を提供する高度で高効率なエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは並列処理の概念に基づいて構築されており、現在利用可能な他の多くのシステムよりも高速で効率的な操作を可能にします。GASONICS PEP 4800には、平行金属転写（MFT）技術を使用して金属膜を基板に堆積させる2つの高精度、低プロファイリングチャンバーが付属しています。これにより、基材のクリーン性を維持しながら、精密なエッチングとアッシングが可能になります。ユニットには2つの独立して制御され、個別に配置されたプラズマが装備されています。プロセスパラメータは、完全なツール監視と制御を提供する統合PEP制御マシンを介して簡単に設定できます。NOVELLUS PEP 4800は、優れた品質成膜を保証するために、高度な診断、品質チェック、フィードバックプロトコルを使用しています。統合されたプロセス制御により、ユーザーはエッチングとアッシングのプロセスをリアルタイムで監視できます。さらに、PEP 4800は、真空、高出力DC電源、エンドポイント検出モデル、および交換可能な基板サポート機器を備えた効率的な基板制御アセットで設計されています。GASONICS/NOVELLUS PEP 4800には、アクティブ基板冷却や自動多源ガス混合システムなど、さまざまな高度な機能が搭載されています。ガスミキシングユニットは、揮発性の高いガス分子の一貫した混合を保証するように設計されており、高精度のコーティング成膜プロセスを可能にします。さらに、GASONICS PEP 4800は、安全な動作を確保するための高度な安全機能を備えて設計されています。これには、ガスタイトチャンバー、デュアル非常停止スイッチ、ガスシャットオフタイミング、および統合されたろ過を備えた排気機が含まれます。全体として、NOVELLUS PEP 4800は、精密なエッチングおよびアッシング用途に最適なソリューションです。このツールは、高性能の効率と正確で高品質の結果を兼ね備えています。また、高度な安全対策が施されているため、安全で信頼性の高い運用経験が保証されます。PEP 4800は、複雑なデバイスアーキテクチャのエッチングとアッシングのための包括的なソリューションの一部であるため、現代の半導体産業にとって貴重なツールです。