中古 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510A #9170813 を販売中

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510Aは、半導体産業における大量のチップ製造アプリケーション向けのエッチングおよびアッシング装置設計です。最新のIC（集積回路）設計のパターン転送やデバイス製作に使用されます。このシステムは6チャネルの並列処理アーキテクチャを備えており、多種多様な材料での効率的なエッチング/灰プロセスを可能にし、大量生産に最適です。このユニットはまた、タイトなプロセス統合が装備されており、他のGASONICS機器と簡単に統合することができます。このマシンは、ロボットローディングドックとアンローディングドック、メインフレーム・プロセッサ、真空チャンバー、および多数のピストンと真空ポンプで構成されています。ロボットドックは、連結アームを使用して、カセットキューイングステーションからエッチングチャンバーにウェーハを移動します。メインフレームのプロセッサにより、エッチパラメータを正確に制御できます。真空チャンバーはエッチングおよびアッシング工程中にウェーハを保持し、ピストンと真空ポンプを使用してチャンバー内の圧力を移動、制御、維持します。このツールは、シリコンウェーハ、アルミニウム、銅、タングステンなど、さまざまな材料をエッチングおよびアッシングすることができます。1つのチャンバーで1時間あたり最大4500個のウェーハを処理することができます。アセットには、さまざまなエッチングおよびアッシングパラメータがあり、付着するようにプログラムすることができ、精度と再現性が向上します。このモデルは、革新的な安全性と汚染制御機能を備えています。ウェーハカセットは搬送時に装置から分離され、汚染や損傷の可能性が低減されます。また、ウェーハ湿度センサ、ウェーハの適切な積み下ろしを保証する静電チャック、粒子や蒸気の汚染を最小限に抑える高効率フィルターも搭載しています。GASONICS PEP 3510Aは、半導体業界の大量のウェーハ加工ニーズに対応して設計された、強力で信頼性の高いエッチングおよびアッシングユニットです。高性能な機能、タイトなプロセス統合、革新的な安全機能により、正確で反復可能なパターン転送を必要とするチップ製造作業に最適です。