中古 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510A #9146556 を販売中

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510Aは、さまざまな用途で使用するために設計された高精度エッチャー/アッシャーです。マイクロエレクトロニクスやオプトエレクトロニクスの製造において、高精度で再現性のある様々な材料を正確にエッチングまたはアッシャーすることができます。GASONICS PEP 3510Aは、高度なソフトウェアベースのモータ駆動制御システムを備えており、チャンバー圧力、反応時間、温度などのさまざまなエッチングまたはアッシングパラメータのプログラミングを可能にします。これにより、素材を素早く正確にエッチングまたはアッシングできます。また、NOVELLUS PEP 3510Aは、真空環境で維持される2つの異なるチャンバーを備えています。各チャンバーには独自の個別制御RF電源があり、必要に応じてエッチングまたはアッシングのいずれかに設定できます。PEP 3510Aには、インターロックシステム、シャットオフバルブ、圧力計など、いくつかの安全機能もあります。これらの安全機能は、エッチングまたはアッシュ加工された材料が最高品質であり、機械の環境が常に安全かつ正確に維持されるように設計されています。GASONICS/NOVELLUS PEP 3510Aは、アルミニウム、シリコン、ヒ素ガリウム、リン酸インジウム、およびその他の高性能材料を含むさまざまな材料をエッチングまたはアッシングすることができる汎用性の高い機械です。これにより、高精度製造用途での使用に理想的な機械となります。GASONICS PEP 3510Aは、エッチングおよびアッシング機能に加えて、ポストエッチングまたはアッシング洗浄に使用できるプラズマソースを内蔵しています。プラズマ源はドライプラズマ洗浄とウェットプラズマ洗浄の両方で調整可能です。これにより、エッチングまたはアッシング後にクリーンでダメージのない仕上がりになります。最後に、NOVELLUS PEP 3510Aは非常に効率的なマシンです。そのユニークなデザインと高度なソフトウェア制御モータードライブは、高性能と迅速なサイクルタイムを提供します。さらに、マシンのコントロールは簡単で使いやすいため、ユーザーは迅速かつ正確にエッチングとアッシングプロセスを設定、プログラム、実行できます。