中古 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510A #9146555 を販売中

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510Aは、高精度のエッチングと表面修正が可能な高度なエッチング/アッシュツールです。これは、単一のプラットフォームでエッチングと表面修正の両方をサポートする統合された複数ステージのプロセスツールです。これは、単一のガスラインと細かい間隔の電極アレイを使用するだけでなく、さまざまなパワーレベルと化学の組み合わせによって実現されます。このツールは、特に困難な3Dメモリと積層デバイスアプリケーションの要件を満たすように設計されています。GASONICS PEP 3510Aは、最大100ウェハ/時間の比類のない速度を提供し、1ウェハあたり10秒未満のプロセス時間に変換します。さらに、このプラットフォームは、浅いエッチング深度から6ミクロン以上の幅広いプロセス範囲を可能にし、プロセスの再現性と精度を非常に厳密に制御します。その結果、エッチング/アッシュツールは、多層深度構造、ボトムサイドウォールパターニング、FinFETを備えたデバイスに最適です。このツールは、4バランス電極アレイ、内蔵キャパシタンスマノメーター、分光グレードのデジタルマスフローコントローラなど、多くの高度な機能とオプションを備えて設計されています。これにより、厳密なプロセス制御と正確な化学配送と温度制御が可能になります。NOVELLUS PEP 3510Aは、塩素、臭素、フッ素、酸化物など幅広い化学物質を取り扱うことができ、ユーザーは特定の用途に応じてプロセスをカスタマイズすることができます。さらに、PEP 3510Aには、複数の入力と出力を備えた分散電源サポートが含まれています。これは、プロセスの再現性と精度をさらに確保するのに役立ちます。結論として、GASONICS/NOVELLUS PEP 3510Aは、厳密なプロセス制御、正確な化学配達、および優れた再現性を保証する多くの機能とオプションを組み込んだ、高度な高速エッチング/アッシュツールです。その結果、GASONICS PEP 3510Aは、3Dメモリや積層デバイスアプリケーションに挑戦するための信頼性の高い高精度エッチングおよび表面修正ソリューションを探しているユーザーに最適です。