中古 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #9312374 を販売中

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510は、半導体デバイス製造に使用されるエッチングおよびアッシング装置です。プラズマエッチングとストリップアッシュという、最も人気のある2つのプロセス技術を組み合わせたハイエンドシステムです。高いスループットが可能であり、エッチングとアッシュプロセスの両方の高い収率のプロセス統合を可能にします。GASONICS PEP 3510は、メインコントロールモジュール、真空ユニット、プロセスチャンバーで構成されています。NOVELLUS PEP 3510には、コンピューター制御マシンを介してカスタムレシピのセットアップを可能にするユーザーインターフェイスが含まれています。真空ツールはプロセスチャンバーの圧力を制御し、真空作動しますが、メインコントロールモジュールはすべてのプロセス機能を完全に制御します。PEP 3510は、従来のエッチング技術よりも高い選択性とエッチング率を持つプラズマエッチングプロセスを使用しています。プラズマエッチングプロセスにより、エッチングマスクへの負荷を低減し、より高い歩留まりを可能にし、汚染の可能性を低減します。エッチングプロセスは、独立してエッチング方向を制御する機能を備え、1方向または2方向のいずれかで実行できます。GASONICS/NOVELLUS PEP 3510はまた、ウェーハから酸化層を除去するために灰室を使用するストリップアッシュプロセスを提供します。ウェットストリッピングプロセスよりも効率的なドライストリッピングプロセスです。アッシュチャンバーは、高度に統合されたプロセスステップのために、シングルステップまたはマルチステップモードで動作できます。さらに、GASONICS PEP 3510には、エッチングおよび灰プロセスを強化するためのさまざまな高度なプロセス技術が含まれています。これらには、高度なウエハハンドリングシステム、自動化されたウエハーおよびサンプルローディングシステム、高スループットレートの低温配信、高度なレシピ開発のための専用ツールソフトウェアが含まれます。全体として、NOVELLUS PEP 3510は、効率的なプロセス統合により高い収率を提供する信頼性の高いエッチングおよびアッシング資産です。高度なプロセス技術と堅牢性の組み合わせにより、半導体デバイス製造に最適です。