中古 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #9195885 を販売中

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510エッチャー/アッシャーは、高度な微細加工プロセスで使用される高性能プラズマエッチングおよびアッシング装置です。これは、シリコンベースの薄膜層のエッチングとアッシングのための費用対効果が高く、経済的に効率的なソリューションであるように設計されています。GASONICS PEP 3510は、特許取得済みのコフローシャワーヘッド設計、多層シールド、およびその他の高度なエッチング技術を組み合わせて、超精密で高精度なエッチングプロセスを提供します。このシステムは、最小限の汚染で非常に薄いエッチングを達成することができます。NOVELLUS PEP 3510は、エッチング蒸気とカプラント蒸気を8つの象限に分割する特許取得済みのコフローシャワーヘッドノズルを使用しています。これにより、マイクロエッチングの歪みやボイディングがなく、均一で正確なエッチングプロセスが作成されます。PEP 3510は、特許取得済みの多層シールドユニットを備えており、エッチング剤とカプラントを区別してプロセス制御を改善します。このマシンはエッチングプロセスに熱的に絶縁された環境を提供し、マイクロエッチングの歪みを最小限に抑えます。GASONICS/NOVELLUS PEP 3510は非常に高速で経済的なツールです。毎分最大30ミクロンのエッチング速度を実現できます。多数の基板を同時に加工することができ、幅広いサプライヤーに対応できます。この資産は、ユニバーサルエッチングレシピを使用しており、複数のガスと互換性があり、プロセスの複雑さと時間が短縮されます。GASONICS PEP 3510は、可能な限り最高の製品品質を保証するために、いくつかの追加機能を提供します。デュアル周波数分散電源を採用し、電力の変動を防ぎ、安定したエッチング環境を提供します。NOVELLUS PEP 3510は、プログラマブルな製品リフトオフとレシピの最適化も特徴で、プロセスパラメータを正確に制御できます。最後に、リモートモニタリング、緊急時のシャットオフスイッチ、オペレータの健康と安全を確保するためのフィルタリングされた排気モデルなど、複数の安全機能を提供します。全体として、PEP 3510エッチャー/アッシャーは、高度な微細加工プロセスに最適です。最小限の汚染で薄膜層をエッチングおよび灰にするための正確で迅速かつ経済的な方法を提供します。高度な技術、革新的な機能、安全対策を組み合わせることで、シリコンベースの薄膜層のエッチングとアッシングに最適です。