中古 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #9195884 を販売中

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510は、さまざまな業界環境で使用できる高速プラズマエッチングおよびアッシュツールです。この装置は、業界標準の装置とプロセスを利用して、高度なプロセス精度を提供します。GASONICS PEP 3510の高度な精度と性能は、厳しい公差が必須であるMEMSやRFデバイスなどのミッションクリティカルでデリケートなタスクに最適です。NOVELLUS PEP 3510は、エッチングとアッシュの両方の機能を備えた多機能を提供し、追加のツーリング変更なしで2つのモードを切り替えることができます。これにより、コストと時間のかかるツールの再構成を必要とせずに、製造メーカーはプロセス間で迅速かつ簡単に移行できます。PEP 3510には温度コントローラが内蔵されており、システム全体で均一な温度を確保してプロセスの最適な結果を得ることができます。GASONICS/NOVELLUS PEP 3510の画期的な設計は、特許取得済みのガス供給ユニットと機械加工された真空チャンバーを組み合わせ、精度と再現性を高めた最適なプラズマエッチャーを実現します。このような先進的な技術により、環境に関係なく、エッチングの均一性評価を+/-2umで実現することができます。GASONICS PEP 3510はまた、時間のかかる手動クリーニングを排除する統合チャンバークリーニング機能を備えています。NOVELLUS PEP 3510は、各アプリケーションに合わせた高度なプロセス監視オプションを提供します。プロセスフローのリアルタイム表示と短いサイクルタイムにより、エッチングジョブはより効率的で信頼性が高くなります。この機械にまた緊急の遮断スイッチ、部屋の消火用具、急速な圧力救助弁および緊急停止の特徴が付いている高度の安全システムが、あります。PEP 3510は非常に効果的なエッチャーとアッシャーで、高速でのエッチングとアッシュの機能、ボードサイズと基板全体での優れたプロセス均一性など、ダイナミックな機能をユーザーに提供します。この資産は、複雑なパターンや形状をさまざまな材料にエッチングすることができ、業界で最も困難な要件を満たすための再現性と精度を備えています。高度な安全システムと統合チャンバークリーニング機能は、さらなる利便性とプロセス制御を提供します。GASONICS/NOVELLUS PEP 3510は、エッチングとアッシングのニーズに対して高いレベルの性能と信頼性を求めるさまざまな企業にとって理想的なソリューションです。