中古 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #293587292 を販売中

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510は最先端のエッチャー/アッシャーです。このチャンバは、生産環境での使用のために設計されており、構成に応じて最大5つのプロセスチャンバーと1つまたは2つのプレクリーンチャンバーを保持します。この高度なツールは、単一のウエハだけでなく、複数のウエハのバッチ処理を実行することができます。GASONICS PEP 3510は、精密イオン注入を可能にするIontekアップグレードを備えています。移植の均一性を測定するために、ソース回転防御装置と7x10フォースセンサーを備えた交換可能なソースチャンバーを備えています。基板支持室は昇降エレベーターを一体化し、基板上の汚染や熱勾配を防ぎます。ガス供給システムは、クリーンで安定した環境を維持する電気バルブ接続と圧力制御の単位で最大4つの異なるガス混合物を提供することができます。部屋にまた高度の温度調整および冷却機械があります。内蔵のチラーと、温度範囲0〜600Cの温度制御環境を提供する炉が含まれています。チャンバーの温度は、GASONICS ThermalVisionツールによって監視されます。堅牢な真空シールを確保するため、NOVELLUS PEP 3510には2つの堅牢なゲートバルブが標準装備されています。1つ目のバルブは電圧入力を調整し、2つ目は特にタイトな真空環境を維持します。さらに、PEP 3510には高性能のプライベートガスセンサーと検出器があり、汚染や堆積に対するさらなる安全性を提供します。このチャンバーには、高度な3方向自動プラズマ電源制御アセットと優れたプラズマ源が付属しています。これにより、エッチングをより適切に制御することで、再現性のある欠陥のない処理が保証されます。さらに、このツールは、インピーダンスロボットを備えたプログラム可能なエッジ成功発生モデルを備えているため、ユーザーはエッチングのエッジプロファイルを簡単に調整できます。クリーンな処理環境を確保するため、GASONICS/NOVELLUS PEP 3510には強力なNOVELLUS Pulse-O-Mizer装置が搭載されています。このシステムは、粒子を除去するための非常に低エネルギーのプラズマのバーストを生成することができ、安定した粒子のない動作環境を作り出すことができます。全体として、GASONICS PEP 3510は優れたエッチャー/アッシャーです。精密エッチングおよびアッシング処理を実行するために必要なすべての機能を備えた効果的な設計と、安全な作業環境を確保する追加の安全機能を備えています。